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公開番号2025111150
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-30
出願番号2024005379
出願日2024-01-17
発明の名称深紫外線光源検査装置
出願人旭化成株式会社,日本電気硝子株式会社
代理人個人,個人
主分類G01J 1/00 20060101AFI20250723BHJP(測定;試験)
要約【課題】深紫外線発光ダイオードの配光検査の迅速性及び安定性を両立させる。
【解決手段】本発明は、被検査対象である深紫外線光源から出射される深紫外光を検査するための深紫外線光源検査装置である。前記深紫外線光源検査装置は、前記深紫外線光源を載置するためのステージと、前記ステージ上に前記深紫外線光源に対向するように設けられ、前記深紫外線光源から出射された前記深紫外光を所定の波長の光に変換する蛍光体を含む透光部材と、前記透光部材を介して、前記深紫外線光源から出射され前記深紫外光から変換された前記光を受光する撮像素子を含む撮像部と、を備える。前記透光部材は、前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における全透過光に対する拡散透過光の割合が50%以上であり、また、前記深紫外光の照射により前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における直進成分の透過率が5%未満であるように構成される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被検査対象である深紫外線光源から出射される深紫外光を検査するための深紫外線光源検査装置であって、
前記深紫外線光源を載置するためのステージと、
前記ステージ上に前記深紫外線光源に対向するように設けられ、前記深紫外線光源から出射された前記深紫外光を所定の波長の光に変換する蛍光体を含む透光部材と、
前記透光部材を介して、前記深紫外線光源から出射され前記深紫外光から変換された前記光を受光する撮像素子を含む撮像部と、を備え、
前記透光部材は、
前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における全透過光に対する拡散透過光の割合が５０％以上であり、
前記深紫外光の照射により前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における直進成分の透過率が５％未満であるように、構成される、
深紫外線光源検査装置。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記透光部材と前記撮像部との間に設けられた対物レンズを更に備える、
請求項１に記載の深紫外線光源検査装置。
【請求項３】
前記対物レンズは、２８０ｎｍ以下の波長を有する前記深紫外光に対して２％／ｃｍ以下の透過率である光学ガラスからなる、
請求項２に記載の深紫外線光源検査装置。
【請求項４】
前記透光部材の前記蛍光体が発する前記光の前記ピーク波長は、前記深紫外光の前記ピーク波長よりも長く、
前記透光部材の前記透過率が２％以下である、
請求項１に記載の深紫外線光源検査装置。
【請求項５】
前記ピーク波長は、４００ｎｍ～６５０ｎｍの範囲にある、
請求項４に記載の深紫外線光源検査装置。
【請求項６】
前記深紫外線光源は、前記深紫外光を出射可能な深紫外線発光ダイオードチップである、
請求項１に記載の深紫外線光源検査装置。
【請求項７】
前記撮像部から出力される画像信号に基づいて画像解析するための情報処理機器に接続可能に構成される、
請求項１に記載の深紫外線光源検査装置。
【請求項８】
被検査対象である深紫外線光源から出射される深紫外光を検査するための深紫外線光源検査装置に用いられる透光部材であって、
前記深紫外線光源から出射された前記深紫外光を所定の波長の光に変換する蛍光体を含み、
前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における全透過光に対する拡散透過光の割合が５０％以上であり、
前記深紫外光の照射により前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における直進成分の透過率が５％未満であるように、構成される、
透光部材。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、深紫外線光源検査装置に関し、特に、深紫外線を出射可能な深紫外線発光装置の配光分布を検査する深紫外線光源検査装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従前より、流体中の病原性のウィルスや菌類等を不活化若しくは消毒又は殺菌等するために、管路内を流れる流体に深紫外線を照射するいわゆる深紫外線光源が用いられている。なお、本開示では、ウィルスや菌類等を「ウィルス等」と総称するものとし、ウィルス等を不活化又は消毒若しくは殺菌等することを単に「不活化等」と称するものとする。
【０００３】
殺菌に用いられる深紫外線光源は、深紫外線発光ダイオードや小型エキシマランプなどのように小型化が進み点光源に近くなった一方で、照射対象となる範囲は従来と変わらない。したがって、適切な照射を可能にする小型の深紫外光源を備えた製品の出荷前の段階で、深紫外光源の配光検査の必要性が高まっている。
【０００４】
例えば、下記特許文献１は、光源を覆うように半球状に形成され当該半球の頂点が光源の中心軸と一致するように配置される半球状拡散板と、光源から照射され半球状拡散板を透過した光を撮像する撮像装置と、Ｘ軸垂直光強度及びＹ軸垂直光強度を抽出する垂直光強度抽出手段と、Ｘ軸垂直光強度及びＹ軸垂直光強度をＸ軸断面放射強度及びＹ軸断面放射強度に変換する放射強度算出手段とを備える配光特性測定装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１２－９８１３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
しかしながら、特許文献１に示す配光特性測定装置は、半球状の拡散板を用いて配光分布を撮像素子で撮影するため、これを深紫外光源の配光検査に応用した場合、フッ化マグネシウムのような深紫外線を透過する非常に高価な光学部品が必要であった。また、配光検査において、深紫外光が撮像素子に直接入射することで撮像素子のフィルターや撮像素子そのものを損傷するおそれがあるため、長期間安定した検査を行うことができないという問題もあった。
【０００７】
このように、深紫外光源の配光検査においては、検査の迅速性と安定性とを両立する手法が十分に確立されているとはいえなかった。一方で、近年、急速に市場が拡大している深紫外線発光ダイオードの配光検査に、検査の迅速性及び安定性を両立させた配光検査技術が望まれている。
【０００８】
そこで、本発明は、深紫外線発光ダイオードの配光検査の迅速性及び安定性を両立させた深紫外光源検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するための本発明は、以下に示す発明特定事項乃至は技術的特徴を含んで構成される。
【００１０】
ある観点に従う本発明は、被検査対象である深紫外線光源から出射される深紫外光を検査するための深紫外線光源検査装置である。前記深紫外線光源検査装置は、前記深紫外線光源を載置するためのステージと、前記ステージ上に前記深紫外線光源に対向するように設けられ、前記深紫外線光源から出射された前記深紫外光を所定の波長の光に変換する蛍光体を含む透光部材と、前記透光部材を介して、前記深紫外線光源から出射され前記深紫外光から変換された前記光を受光する撮像素子を含む撮像部と、を備える。前記透光部材は、前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における全透過光に対する拡散透過光の割合が５０％以上であり、また、前記深紫外光の照射により前記蛍光体が発する前記光のピーク波長における直進成分の透過率が５％未満であるように構成される。
（【００１１】以降は省略されています）

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