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公開番号2025119642
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-15
出願番号2024014522
出願日2024-02-02
発明の名称制御システムおよび基板処理装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人弁理士法人あい特許事務所
主分類G05B 19/05 20060101AFI20250807BHJP(制御;調整)
要約【課題】通信の設定に要する負担を軽減できる制御システムを提供する。
【解決手段】制御システムCSは、少なくとも1つの制御対象300を制御する少なくとも1つのPLC200と、シーケンスプログラムを記憶しており、シーケンスプログラムを実行することにより、少なくとも1つのPLC200に少なくとも1つの制御対象300を制御させる少なくとも1つのコンピュータ100とを備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
少なくとも１つの制御対象を制御する少なくとも１つのＰＬＣ（Programmable Logic Controller、プログラマブルロジックコントローラ）と、
シーケンスプログラムを記憶しており、前記シーケンスプログラムを実行することにより、前記少なくとも１つのＰＬＣに前記少なくとも１つの制御対象を制御させる少なくとも１つのコンピュータと、を備える、制御システム。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記少なくとも１つのＰＬＣは、前記シーケンスプログラムを記憶していない、請求項１に記載の制御システム。
【請求項３】
前記少なくとも１つのＰＬＣは、複数の制御対象を制御する複数のＰＬＣであり、
前記少なくとも１つのコンピュータは、前記シーケンスプログラムを記憶しており、前記シーケンスプログラムを実行するメインコンピュータと、複数のサブシーケンスプログラムを記憶しており、前記メインコンピュータが前記シーケンスプログラムを実行したときに前記複数のサブシーケンスプログラムを実行し、前記複数のＰＬＣに前記複数の制御対象を制御させる複数のサブコンピュータと、を含む、請求項１または２に記載の制御システム。
【請求項４】
前記少なくとも１つのコンピュータは、前記シーケンスプログラムを作成するシーケンス作成アプリケーションを記憶している、請求項１または２に記載の制御システム。
【請求項５】
基板を処理する複数の処理ユニットと、
前記複数の処理ユニットに前記基板を搬送する搬送システムと、
前記複数の処理ユニットおよび搬送システムに設けられた複数の制御対象を制御する少なくとも１つのＰＬＣと、
シーケンスプログラムを記憶しており、前記シーケンスプログラムを実行することにより、前記少なくとも１つのＰＬＣに前記複数の制御対象を制御させる少なくとも１つのコンピュータと、を備える、基板処理装置。
【請求項６】
前記複数の処理ユニットは、前記基板に対して互いに異なる処理を行う２つ以上の処理ユニットを含む、請求項５に記載の基板処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、制御システムおよび基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、ＮＣ（Numerical Control）プログラムに従って工作機械を制御する第１コントローラと、シーケンスプログラムに従って対象機器を制御する第２コントローラと、サポート装置と、を備える制御システムを開示している。特許文献１の段落００３０には、「ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）」との記載がある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－０２６３０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＰＬＣは、電動モータやセンサなどの制御対象を制御する。ＰＣ（personal computer）などのコンピュータは、ＰＬＣよりも汎用性が高く、高機能であることから、コンピュータを用いて制御対象を制御する場合もある。コンピュータで制御対象を制御する場合、コンピュータおよび制御対象の間で通信できるようコンピュータを設定する必要がある。しかしながら、コンピュータおよび制御対象の間で通信する場合、ＰＬＣおよび制御対象の間で通信する場合に比べて、通信の設定に要する負担が大きい。
【０００５】
そこで、本発明の一つの目的は、通信の設定に要する負担を軽減できる制御システムおよび基板処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一実施形態は、少なくとも１つの制御対象を制御する少なくとも１つのＰＬＣ（Programmable Logic Controller、プログラマブルロジックコントローラ）と、シーケンスプログラムを記憶しており、前記シーケンスプログラムを実行することにより、前記少なくとも１つのＰＬＣに前記少なくとも１つの制御対象を制御させる少なくとも１つのコンピュータと、を備える、制御システムを提供する。
【０００７】
前記実施形態において、以下の特徴の少なくとも１つを前記制御システムに加えてもよい。
【０００８】
前記少なくとも１つのＰＬＣは、前記シーケンスプログラムを記憶していない。
【０００９】
前記少なくとも１つのＰＬＣは、複数の制御対象を制御する複数のＰＬＣであり、前記少なくとも１つのコンピュータは、前記シーケンスプログラムを記憶しており、前記シーケンスプログラムを実行するメインコンピュータと、複数のサブシーケンスプログラムを記憶しており、前記メインコンピュータが前記シーケンスプログラムを実行したときに前記複数のサブシーケンスプログラムを実行し、前記複数のＰＬＣに前記複数の制御対象を制御させる複数のサブコンピュータと、を含む。
【００１０】
前記少なくとも１つのコンピュータは、前記シーケンスプログラムを作成するシーケンス作成アプリケーションを記憶している。
（【００１１】以降は省略されています）

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