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公開番号2025135221
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-18
出願番号2024032925
出願日2024-03-05
発明の名称磁気計測装置
出願人TDK株式会社
代理人個人,個人
主分類G01R 33/09 20060101AFI20250910BHJP(測定;試験)
要約【課題】相対的な位置関係が可変である複数のセンサユニットを備える磁気計測装置において、複数のセンサユニットの相対的な位置関係を変更した場合であっても、変更後における複数のセンサユニットの相対的な位置関係を容易に同定する。
【解決手段】磁気計測装置100は、1又は2以上の磁気センサ10を有するセンサユニット1と、1又は2以上の磁気センサ10及び1又は2以上の磁界発生コイル20を有するセンサユニット2と、センサユニット1とセンサユニット2の相対的な位置関係を変化させる可動機構4と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
１又は２以上の磁気センサを有する第１のセンサユニットと、
１又は２以上の磁気センサ及び１又は２以上の磁界発生コイルを有する第２のセンサユニットと、
前記第１のセンサユニットと前記第２のセンサユニットの相対的な位置関係を変化させる可動機構と、
を備える磁気計測装置。
続きを表示（約 530 文字）【請求項２】
前記第１のセンサユニットに含まれる前記磁気センサは、相対的な位置関係が固定された複数の磁気センサからなり、
前記第２のセンサユニットに含まれる前記磁気センサは、相対的な位置関係が固定された複数の磁気センサからなる、
請求項１に記載の磁気計測装置。
【請求項３】
前記第２のセンサユニットに含まれる前記磁界発生コイルは、相対的な位置関係が固定された複数の磁界発生コイルからなり、
前記第２のセンサユニットに含まれる前記複数の磁気センサと、前記第２のセンサユニットに含まれる前記複数の磁界発生コイルは、相対的な位置関係が固定されている、
請求項２に記載の磁気計測装置。
【請求項４】
前記可動機構は、前記第１のセンサユニットと前記第２のセンサユニットの間の距離及び角度を可変に構成されている、
請求項３に記載の磁気計測装置。
【請求項５】
前記磁界発生コイルは、前記第２のセンサユニットに含まれる前記磁気センサのセンサヘッドから、前記第１のセンサユニットに向かって突出しない位置に配置される、
請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の磁気計測装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は磁気計測装置に関し、特に、相対的な位置関係が可変である複数のセンサユニットを備える磁気計測装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１の図５には、計測面の向きが互いに異なる２つのセンサユニットを有する磁気計測装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７３９９４２６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された磁気計測装置においては、２つのセンサユニットの相対的な位置関係が固定されている。しかしながら、複数のセンサユニットの相対的な位置関係が可変である場合、複数のセンサユニットの相対的な位置関係を変更する度にキャリブレーションを行うと時間がかかるという問題があった。ここでキャリブレーションとは、基準磁界発生装置の発生する磁場を用いて、各センサの位置・向き・感度のパラメータを算出するプロセスである。また、例えば複数のセンサユニット間にすでに計測対象物が配置されている場合には、キャリブレーション用の治具をセンサユニット間にそもそも配置することができないという問題もあった。
【０００５】
本開示においては、相対的な位置関係が可変である複数のセンサユニットを備える磁気計測装置において、複数のセンサユニットの相対的な位置関係を変更した場合であっても、変更後における複数のセンサユニットの相対的な位置関係を容易に同定可能な技術が説明される。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一側面による磁気計測装置は、１又は２以上の磁気センサを有する第１のセンサユニットと、１又は２以上の磁気センサ及び１又は２以上の磁界発生コイルを有する第２のセンサユニットと、第１のセンサユニットと第２のセンサユニットの相対的な位置関係を変化させる可動機構と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、相対的な位置関係が可変である複数のセンサユニットを備える磁気計測装置において、複数のセンサユニットの相対的な位置関係を変更した場合であっても、変更後における複数のセンサユニットの相対的な位置関係を容易に同定可能な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、本開示の一実施形態による磁気計測装置１００の構成を説明するための模式図である。
図２は、センサユニット１の模式的なＸＹ平面図である。
図３は、センサユニット２の模式的なＸＹ平面図である。
図４は、磁気センサ１０の内部構造の一例を示す模式図である。
図５は、センサチップ１３の略平面図である。
図６は、図５に示すＡ－Ａ線に沿った略断面図である。
図７は、磁気センサ１０の回路図である。
図８は、磁気計測装置１００を用いた磁気計測方法を説明するためのフローチャートである。
図９は、計測対象物４０のＺ方向におけるサイズが大きい場合におけるセンサユニット１，２の位置を示す模式図である。
図１０は、計測対象物４０のＺ方向におけるサイズが小さい場合におけるセンサユニット１，２の位置を示す模式図である。
図１１は、計測対象物４０が斜面を有している場合におけるセンサユニット１，２の位置を示す模式図である。
図１２は、３つのセンサユニット１～３を有する磁気計測装置の模式図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照しながら、本開示に係る技術の実施形態について詳細に説明する。
【００１０】
図１は、本開示の一実施形態による磁気計測装置１００の構成を説明するための模式図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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