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公開番号2025154418
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024057411
出願日2024-03-29
発明の名称静圧気体軸受装置
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所,弁理士法人ブナ国際特許事務所
主分類F16C 32/06 20060101AFI20251002BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】パッド面積を小さくしても振動が低減する静圧気体軸受装置を提供すること。
【解決手段】本開示に係る静圧気体軸受装置は、可動部材と固定部材とを備える。可動部材または固定部材の基体の軸受面には、凹部が位置し、凹部の底面には気体供給孔の開口部が位置している。凹部には、多孔質体が位置している。多孔質体の少なくとも底面は、凹部に接着されているか、または接触している。多孔質体の表面には、表面の中心領域から多孔質体の外周に到る第1溝が位置している。基体の軸受面の多孔質体の外側に、排気溝が位置している。
【選択図】図2A
特許請求の範囲【請求項１】
可動部材と固定部材とを備え、
前記可動部材または前記固定部材の基体の軸受面には、凹部が位置し、該凹部の底面には気体供給孔の開口部が位置し、
前記凹部には、多孔質体が位置し、
前記多孔質体の少なくとも底面は、前記凹部に接着されているか、または接触しており、
前記多孔質体の表面には、該表面の中心領域から前記多孔質体の外周に到る第１溝が位置し、
前記基体の前記軸受面の前記多孔質体の外側に、排気溝が位置している、
静圧気体軸受装置。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記凹部を平面視した場合、前記気体供給孔の開口部の面積が、前記凹部の底面の面積よりも小さい、請求項１に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項３】
前記多孔質体は、前記気体供給孔の開口部以外の前記凹部の全面に接着されている、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項４】
前記多孔質体の表面と前記基体の前記軸受面とが面一である、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項５】
前記多孔質体は、前記凹部が位置している部材と同じ材料である、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項６】
前記第１溝が少なくとも２つ位置しており、隣接する２本の前記第１溝によって形成される角は、同じ角度を有する、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項７】
前記多孔質体には、前記第１溝と交差する第１交差溝がさらに位置している、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項８】
前記多孔質体の表面の算術平均粗さＲａは、前記第１溝の内壁面の算術平均粗さＲａよりも小さい、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項９】
前記基体の前記軸受面には、前記第１溝と連通する第２溝が位置している、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
【請求項１０】
前記基体の前記軸受面の算術平均粗さＲａは、前記第２溝の内壁面の算術平均粗さＲａよりも小さい、請求項１または２に記載の静圧気体軸受装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、静圧気体軸受装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、高真空またはガス雰囲気などの特殊な環境下で使用され、かつ高精度な静圧気体軸受装置には、例えば、特許文献１および特許文献２に記載のように排気溝が含まれている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１１－１４９５００号公報
特開２００３－３１４５４９号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような排気溝を有する従来の静圧気体軸受装置は、装置の小型化、軽量化のために、パッド面積を小さくすることが求められる。加圧気体を摺動面に沿って分配する通気溝と加圧気体を排気する排気溝とを含めたパッド部分の面積を小さくすると、振動が大きくなるという問題があった。
【０００５】
本開示の課題は、パッド面積を小さくしても振動が低減する静圧気体軸受装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る静圧気体軸受装置は、可動部材と固定部材とを備える。可動部材または固定部材の基体の軸受面には、凹部が位置し、凹部の底面には気体供給孔の開口部が位置している。凹部には、多孔質体が位置している。多孔質体の少なくとも底面は、凹部に接着されているか、または接触している。多孔質体の表面には、表面の中心領域から多孔質体の外周に到る第１溝が位置している。基体の軸受面の多孔質体の外側に、排気溝が位置している。
【発明の効果】
【０００７】
本開示に係る静圧気体軸受装置は、上記のような構成を有することによって、パッド面積を小さくしても振動が低減する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置を、直線案内装置に設けた例を示す説明図である。
本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置の要部を示す平面図である。
図２Ａに記載のＸ－Ｘ線で切断した断面を示す説明図である。
本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置の要部の変形例を示す平面図である。
本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置の要部の他の変形例を示す平面図である。
本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置の要部のさらに他の変形例を示す平面図である。
本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置の要部のさらに他の変形例を示す平面図である。
本開示の他の実施形態に係る静圧気体軸受装置の要部を示す平面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置を、図１～４Ｃに基づいて説明する。図１は、本開示の一実施形態に係る静圧気体軸受装置を、直線案内装置に設けた例を示す説明図である。一実施形態に係る静圧気体軸受装置は、可動部材１と固定部材２とを備える。
【００１０】
可動部材１は、略四角柱状を有する固定部材２を囲むように設けられている。可動部材１と固定部材２とは隙間を有するように位置しており、接していない。可動部材１の基体の軸受面１ａまたは固定部材２の基体の軸受面２ａから、圧縮気体を噴出させることによって静圧気体層が形成される。そのため、可動部材１と固定部材２とが非接触の状態で、別の駆動手段（図示せず）を用いて可動部材１を固定部材２に沿って移動させることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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