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公開番号2025116076
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-07
出願番号2025087404,2020163887
出願日2025-05-26,2020-09-29
発明の名称有機デバイス、その製造方法、表示装置、光電変換装置、電子機器、照明装置および移動体
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人大塚国際特許事務所
主分類H10K 59/122 20230101AFI20250731BHJP()
要約【課題】混色による画質の低下を抑えるために有利な技術を提供する。
【解決手段】有機デバイスは、基板の上に配置された反射膜と、前記反射膜を覆う第1絶縁膜と、前記第1絶縁膜の上に配置された複数の下部電極と、前記複数の下部電極のそれぞれの周辺部、および、前記複数の下部電極の間の前記第1絶縁膜を覆う第2絶縁膜と、前記複数の下部電極および前記第2絶縁膜を覆う有機機能膜と、前記有機機能膜の上に配置された上部電極と、を備える。前記反射膜は、第1画素のための第1反射部と、第2画素のための第2反射部とを含み、前記第1反射部の中央部の上に配される前記第1絶縁膜の厚さをT1、前記第2反射部の中央部の上に配される前記第1絶縁膜の厚さをT2、前記第1反射部の上における前記第1絶縁膜の表面の段差をΔT1、前記第2反射部の上における前記第1絶縁膜の表面の段差をΔT2としたときに、T1>T2、ΔT1<ΔT2が満たされる。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板の上に配置された反射膜と、前記反射膜を覆う第１絶縁膜と、前記第１絶縁膜の上に配置された複数の下部電極と、前記複数の下部電極のそれぞれの周辺部、および、前記複数の下部電極の間の前記第１絶縁膜を覆う第２絶縁膜と、前記複数の下部電極および前記第２絶縁膜を覆う有機機能膜と、前記有機機能膜の上に配置された上部電極と、を備える有機デバイスであって、
前記反射膜は、第１画素のための第１反射部と、第２画素のための第２反射部とを含み、
前記第１反射部の中央部の上に配される前記第１絶縁膜の厚さをＴ１、前記第２反射部の中央部の上に配される前記第１絶縁膜の厚さをＴ２、前記第１反射部の上における前記第１絶縁膜の表面の段差をΔＴ１、前記第２反射部の上における前記第１絶縁膜の表面の段差をΔＴ２としたときに、
Ｔ１＞Ｔ２、ΔＴ１＜ΔＴ２が満たされる、
ことを特徴とする有機デバイス。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第１絶縁膜は、第１膜および第２膜を含み、前記第１反射部の前記中央部には、前記第１膜および前記第２膜が配置され、前記第２反射部の前記中央部には、前記第１膜が配置されず、前記第２膜が配置されている、
ことを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
【請求項３】
前記第１膜および前記第２膜の双方が存在する領域において、前記第２膜は、前記第１膜の上に配置されている、
ことを特徴とする請求項２に記載の有機デバイス。
【請求項４】
前記反射膜は、第３画素のための第３反射部を更に含み、
前記第３反射部の中央部の上に配される前記第１絶縁膜の厚さをＴ３、前記第３反射部の上における前記第１絶縁膜の表面の段差をΔＴ３としたときに、
Ｔ１＞Ｔ２＞Ｔ３、ΔＴ１＜ΔＴ２＜ΔＴ３が満たされる、
ことを特徴とする請求項１に記載の有機デバイス。
【請求項５】
前記第１絶縁膜は、第１膜、第２膜および第３膜を含み、前記第１反射部の前記中央部には、前記第１膜、前記第２膜および前記第３膜が配置され、前記第２反射部の前記中央部には、前記第１膜が配置されず、前記第２膜および前記第３膜が配置され、前記第３反射部の前記中央部には、前記第１膜および前記第２膜が配置されず、前記第３膜が配置されている、
ことを特徴とする請求項４に記載の有機デバイス。
【請求項６】
前記反射膜は、前記第１反射部および前記第２反射部を含む複数の反射部を含み、前記複数の反射部の各々は、前記複数の下部電極のうち対応する下部電極の下に配置され、
前記複数の下部電極の各々と前記複数の反射部のうち対応する反射部とが互いに電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項１乃至５のいずれか１項に記載の有機デバイス。
【請求項７】
前記複数の下部電極の各々は、前記第１絶縁膜に設けられた開口まで延在し、前記複数の下部電極の各々は、前記複数の反射部のうち対応する反射部の周辺部に対して前記開口において電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項６に記載の有機デバイス。
【請求項８】
前記複数の下部電極の各々は、前記複数の反射部のうち対応する反射部の周辺部に対して、前記第１絶縁膜を貫通する第１導電プラグによって電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項６に記載の有機デバイス。
【請求項９】
前記反射部の周辺部は、前記反射膜の上に導電層が設けられており、前記複数の下部電極の各々は導電層と電気的に接続している、
ことを特徴とする請求項６乃至８のいずれか１項に記載の有機デバイス。
【請求項１０】
前記導電層は、前記反射膜よりも反射率が低い材料で構成されている、
ことを特徴とする請求項９に記載の有機デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、有機デバイス、その製造方法、表示装置、光電変換装置、電子機器、照明装置および移動体に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
有機エレクトロルミネッセンス（以下、有機ＥＬ）膜を有する発光装置などのように、有機化合物を含む有機機能層を備えた有機デバイスが知られている。特許文献１には、有機ＥＬ素子から発せられた光がカラーフィルタを透過することで、Ｂ、Ｇ、Ｒの画素ごとに所望の発光色が得られる構成を有する電気光学装置が記載されている。この電気光学装置では、Ｂ、Ｇ、Ｒの画素ごとに反射層として機能する電源線と対向電極との間で光共振構造が構築されており、Ｂ、Ｇ、Ｒの各発光色に対応した共振波長において輝度が強調された発光が得られる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１０７８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載された電気光学装置では、異なる色の画素間で画素の端部構造の違いが大きい。したがって、特許文献１に記載された電気光学装置では、隣接する画素間のリーク電流が、隣接する画素の色の組み合わせによって大きく異なる可能性があり、例えば、混色による画質低下を抑えるために不利である。
【０００５】
本発明は、画素間のリーク電流による画質の低下を抑えるために有利な技術を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の１つの側面は、基板の上に配置された反射膜と、前記反射膜を覆う第１絶縁膜と、前記第１絶縁膜の上に配置された複数の下部電極と、前記複数の下部電極のそれぞれの周辺部、および、前記複数の下部電極の間の前記第１絶縁膜を覆う第２絶縁膜と、前記複数の下部電極および前記第２絶縁膜を覆う有機機能膜と、前記有機機能膜の上に配置された上部電極と、を備える有機デバイスに係り、前記反射膜は、第１画素のための第１反射部と、第２画素のための第２反射部とを含み、前記第１反射部の中央部の上に配される前記第１絶縁膜の厚さをＴ１、前記第２反射部の中央部の上に配される前記第１絶縁膜の厚さをＴ２、前記第１反射部の上における前記第１絶縁膜の表面の段差をΔＴ１、前記第２反射部の上における前記第１絶縁膜の表面の段差をΔＴ２としたときに、Ｔ１＞Ｔ２、ΔＴ１＜ΔＴ２が満たされる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、画素間のリーク電流による画質の低下を抑えるために有利な技術が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態の有機デバイスの断面構造を示す模式図。
第１実施形態の変形例の有機デバイスの断面構造を示す模式図。
第１実施形態の有機デバイスの製造方法を示す図。
第１実施形態の有機デバイスの製造方法を示す図。
第２実施形態の有機デバイスの断面構造を示す模式図。
第２実施形態の有機デバイスの製造方法を示す図。
第２実施形態の有機デバイスの製造方法を示す図。
第３実施形態の有機デバイスの平面図を模式的に示す図。
第３実施形態の有機デバイスの断面構造を模式的に示す図。
第４実施形態の有機デバイスの平面図を模式的に示す図。
第４実施形態の有機デバイスの断面構造を模式的に示す図。
第５実施形態の有機デバイスの断面構造を模式的に示す図。
表示装置の一例を表す模式図。
表示装置の例を表す模式図。
表示装置の例を表す模式図。
照明装置および移動体の例を表す模式図。
表示撮像装置を示す図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、添付図面を参照して実施形態を詳しく説明する。尚、以下の実施形態は特許請求の範囲に係る発明を限定するものではない。実施形態には複数の特徴が記載されているが、これらの複数の特徴の全てが発明に必須のものとは限らず、また、複数の特徴は任意に組み合わせられてもよい。さらに、添付図面においては、同一若しくは同様の構成に同一の参照番号を付し、重複した説明は省略する。
【００１０】
図１には、第１実施形態の有機デバイス１の断面構造が模式的に示されている。図２には、第１実施形態の変形例の有機デバイス１の断面構造が模式的に示されている。有機デバイス１は、第１画素２０１ｒ、第２画素２０１ｇ、第３画素２０１ｂを含む。第１画素２０１ｒ、第２画素２０１ｇ、第３画素２０１ｂは、後述の光学調整膜１１４の構造が相互に異なる画素である。また、第１画素２０１ｒ、第２画素２０１ｇ、第３画素２０１ｂは、有機デバイス１からその外部に放射される光の色が相互に異なる画素である。第１画素２０１ｒは赤色（Ｒ）の光を放射し、第２画素２０１ｇは緑色（Ｇ）の光を放射し、第３画素２０１ｂは青色（Ｂ）の光を放射する。有機デバイス１は、複数の第１画素２０１ｒ、複数の第２画素２０１ｇ、複数の第３画素２０１ｂを有しうる。図６に模式的に示されるように第１画素２０１ｒ、第２画素２０１ｇ、第３画素２０１ｂが配列される場合、図１、図２の断面構造は、図６のＣ－Ｃ’線の断面に相当しうる。図６においては、Ｒ、Ｇ、Ｂは、それぞれ第１画素２０１ｒ、第２画素２０１ｇ、第３画素２０１ｂに対応する。
（【００１１】以降は省略されています）

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