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公開番号2025121623
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-20
出願番号2024017175
出願日2024-02-07
発明の名称荷電粒子線装置
出願人日本電子株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01J 37/20 20060101AFI20250813BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】容易に試料を導入できる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る荷電粒子線装置は、試料を保持する試料ホルダー300と、試料に荷電粒子線を照射するための光学系、および試料ホルダー300を挿抜可能な挿入口232を備えたホルダー支持部230を備えた本体部と、本体部を収容する筐体と、を含み、筐体には、凹部110、および凹部110の底112に試料ホルダー300が挿入口232にアクセスするための開口部120が形成され、筐体は、凹部110の底112を照明する照明装置150を有する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
試料を保持する試料ホルダーと、
前記試料に荷電粒子線を照射するための光学系、および前記試料ホルダーを挿抜可能な挿入口を備えたホルダー支持部を備えた本体部と、
前記本体部を収容する筐体と、
を含み、
前記筐体には、凹部、および前記凹部の底に前記試料ホルダーが前記挿入口にアクセスするための開口部が形成され、
前記筐体は、前記凹部の底を照明する照明装置を有する、荷電粒子線装置。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
請求項１において、
前記凹部の形状は、前記凹部の底から前記凹部の開口に向かって断面積が大きくなる円錐台状である、荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記筐体は、
前記凹部の側面を規定する第１部材と、
前記凹部の底を規定し、前記開口部が設けられた第２部材と、
を含み、
前記第１部材と前記第２部材との間には隙間が設けられ、
前記凹部の底は、前記隙間から漏れる光で照明される、荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項３において、
前記照明装置は、複数の発光素子を含み、
前記複数の発光素子が発した光は、前記隙間を通って、前記凹部の底に照射される、荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項１または２において、
前記照明装置は、複数の発光素子を含み、
前記複数の発光素子は、前記凹部の底の周囲に配置されている、荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項１または２において、
前記照明装置は、第１発光素子と、第２発光素子と、を含み、
前記第１発光素子と前記第２発光素子との間に、前記凹部の底が位置している、荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項１または２において、
前記照明装置は、複数の発光素子を含み、
前記筐体は、前記複数の発光素子を遮蔽する遮蔽部材を含む、荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１または２において、
前記試料ホルダーの挿入状態に基づいて、前記照明装置を制御する制御部を含む、荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項８において、
前記制御部は、前記試料ホルダーの挿入状態に基づいて、前記照明装置が発する光の色および光の強度の少なくとも一方を制御する、荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項９において、
前記制御部は、前記試料を試料室に導入するための予備排気が完了した場合に、前記照明装置が発する光の色および光の強度の少なくとも一方を変化させる、荷電粒子線装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線装置に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
透過電子顕微鏡や、走査透過電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、集束イオンビーム装置などの荷電粒子線装置では、外部環境によるノイズを低減するために本体の全部または一部をカバーで覆う場合がある。
【０００３】
例えば、特許文献１には、真空排気系や各種回路を内装する本体カバーと、試料ステージを内装するステージカバーと、カラムを内装するカラムカバーと、を備える走査電子顕微鏡が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特許第６５３５８１１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記のような荷電粒子線装置では、試料は真空状態に維持された試料室に配置される。このような荷電粒子線装置では、試料室に試料を容易に導入できることが求められている。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る荷電粒子線装置の一態様は、
試料を保持する試料ホルダーと、
前記試料に荷電粒子線を照射するための光学系、および前記試料ホルダーを挿抜可能な挿入口を備えたホルダー支持部を備えた本体部と、
前記本体部を収容する筐体と、
を含み、
前記筐体には、凹部、および前記凹部の底に前記試料ホルダーが前記挿入口にアクセスするための開口部が形成され、
前記筐体は、前記凹部の底を照明する照明装置を有する。
【０００７】
このような荷電粒子線装置では、凹部の底を照明できるため、試料ホルダーを開口部を介して挿入口に挿入する際に視認性を高めることができる。したがって、このような荷電粒子線装置では、装置内に試料を容易に導入できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
透過電子顕微鏡の構成の一例を示す図。
透過電子顕微鏡を模式的に示す斜視図。
透過電子顕微鏡を模式的に示す正面図。
透過電子顕微鏡の要部を模式的に示す断面図。
照明装置を模式的に示す平面図。
照明装置の動作を説明するための図。
照明装置の動作を説明するための図。
操作部を模式的に示す平面図。
操作部を模式的に示す断面図。
通常モードの操作部を模式的に示す平面図。
メンテナンスモードの操作部を模式的に示す平面図。
試料ホルダーを模式的に示す図。
ホルダー支持部を模式的に示す平面図。
ホルダー支持部の挿入口を説明するための図。
試料を試料室に導入する手順の一例を示すフローチャート。
透過電子顕微鏡の変形例を模式的に示す斜視図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
【００１０】
また、以下では、本発明に係る荷電粒子線装置が試料に電子線を照射する透過電子顕微鏡である場合について説明するが、本発明に係る荷電粒子線装置は、電子線以外の荷電粒子線（イオンビーム等）を試料に照射する装置であってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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