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公開番号2025124190
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-26
出願番号2024020073
出願日2024-02-14
発明の名称光学デバイス、波長可変干渉フィルター
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/00 20060101AFI20250819BHJP(光学)
要約【課題】レーザー加工により好適にダイシング可能な光学デバイスを提供すること。
【解決手段】第1基板と、第2基板とを重ね合せた光学デバイスであって、前記第1基板は、第1面と、前記第1面の反対側の面である第2面とを有し、前記第2基板は、第3面と、前記第3面の反対側の面である第4面とを有し、前記第1面から前記第4面のいずれかには配線膜が設けられており、前記配線膜は、高反射率膜と、透光性膜と、を含み、前記第1面から前記第2面の方向にダイシング用のレーザーが照射される際に、前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、前記透光性膜が選択的に配置される。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、
前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、
前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、
前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、
前記配線膜は、高反射率膜と、透光性膜と、を含み、
前記第１面から前記第２面の方向にダイシング用のレーザーが照射される際に、
前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、前記透光性膜が選択的に配置される、
光学デバイス。
続きを表示（約 1,800 文字）【請求項２】
第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、
前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、
前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、
前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、
前記配線膜は、高反射率膜と、低反射率膜と、を含み、
前記第１面から前記第２面の方向にダイシング用のレーザーが照射される際に、
前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、
前記第２面上に設けられる前記低反射率膜と、前記低反射率膜に重ねて設けられる前記高反射率膜とを含む、
光学デバイス。
【請求項３】
第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、
前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、
前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、
前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、
前記配線膜は、高反射率膜と、低反射率膜と、を含み、
前記第１面から前記第２面の方向にダイシング用のレーザーが照射される際に、
前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、
前記第２面上に設けられる前記低反射率膜と、前記低反射率膜に重ねて設けられる前記高反射率膜とを含み、
前記第４面から前記第３面の方向に前記ダイシング用のレーザーが照射される際に、
前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、
前記第３面上に設けられる前記低反射率膜と、前記低反射率膜に重ねて設けられる前記高反射率膜とを含む、
光学デバイス。
【請求項４】
請求項２に記載の光学デバイスであって、
光学デバイスは、波長可変干渉フィルターであり、
前記第１基板は、第１反射膜を有し、
前記第２基板は、第２反射膜を有し、
前記第１反射膜と、前記第２反射膜とは、互いに対向するとともに、一定間隔のギャップを有するように形成されており、
前記配線膜は、前記第３面に設けられ、前記第１反射膜に接続する第１配線および前記第２反射膜に接続する第２配線を含み、
前記第１配線と前記第２配線とで、前記ギャップと相関がある前記第１反射膜と前記第２反射膜との間の容量を検出可能に設けられ、
前記第２面には、前記第１配線と前記第２配線とを覆う前記低反射率膜が設けられる、
波長可変干渉フィルター。
【請求項５】
第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、
前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、
前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、
前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、
前記第２基板の１辺が、前記第１基板の１辺から張り出した張出し部が設けられており、前記張出し部には、複数の端子が配置されており、
前記配線膜は、前記端子に接続するとともに、高反射率膜と、透光性膜と、を含み、
前記張出し部の始点となる前記第１基板の１辺の近傍における前記配線膜は、前記透光性膜が選択的に配置される、
光学デバイス。
【請求項６】
第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、
前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、
前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、
前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、
前記第２基板の１辺が、前記第１基板の１辺から張り出した張出し部が設けられており、前記張出し部には、複数の端子が配置されており、
前記配線膜は、前記端子に接続するとともに、高反射率膜と、低反射率膜と、を含み、
前記張出し部の始点となる前記第１基板の１辺の近傍における前記配線膜は、前記第２面上に設けられる前記低反射率膜を含む、
光学デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、光学デバイス、および、波長可変干渉フィルターに関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
複数のデバイスが面付けされたウエハーなどの大判基板からレーザー加工によりデバイスを分割する方法が知られている。例えば、特許文献１には、レーザー加工による基板の分割方法が開示されている。当該文献によれば、半導体基板の内部に集光点を合わせてレーザー光を照射し、基板の内部に改質領域を形成することで、切断予定ラインに沿って基板の表面から所定距離内側に切断起点領域を形成する、としている。
【０００３】
波長可変干渉フィルターデバイスは透明な基板を２枚重ねた構成をしており、２枚重ねの大判基板から１つのデバイスを切出している。当該デバイスには、一方の基板の１辺が、他方の基板の１辺から張り出した張出し部が設けられており、当該張出し部には、複数の接続用の端子が形成されている。なお、同様な２枚構成のデバイスは、表示パネルなどの光学デバイスに多く採用されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００５－１８４０３２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、光学デバイスに特許文献１のレーザー加工技術を適用した場合、例えば、張出し部の形成時にレーザー照射する際、端子に繋がる配線にもレーザーが照射され、その反射光がレーザー照射装置に戻りダメージを与え兼ねない虞があった。
つまり、レーザー加工により好適にダイシング可能な光学デバイスが求められていた。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本願の一態様に係る光学デバイスは、第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、前記配線膜は、高反射率膜と、透光性膜と、を含み、前記第１面から前記第２面の方向にダイシング用のレーザーが照射される際に、前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、前記透光性膜が選択的に配置される。
【０００７】
本願の一態様に係る光学デバイスは、第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、前記配線膜は、高反射率膜と、低反射率膜と、を含み、前記第１面から前記第２面の方向にダイシング用のレーザーが照射される際に、前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、前記第２面上に設けられる前記低反射率膜と、前記低反射率膜に重ねて設けられる前記高反射率膜とを含む。
【０００８】
本願の一態様に係る光学デバイスは、第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、前記配線膜は、高反射率膜と、低反射率膜と、を含み、前記第１面から前記第２面の方向にダイシング用のレーザーが照射される際に、前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、前記第２面上に設けられる前記低反射率膜と、前記低反射率膜に重ねて設けられる前記高反射率膜とを含み、前記第４面から前記第３面の方向に前記ダイシング用のレーザーが照射される際に、前記レーザーが照射される部分における前記配線膜は、前記第３面上に設けられる前記低反射率膜と、前記低反射率膜に重ねて設けられる前記高反射率膜とを含む。
【０００９】
本願の一態様に係る波長可変干渉フィルターは、前記第１基板は、第１反射膜を有し、前記第２基板は、第２反射膜を有し、前記第１反射膜と、前記第２反射膜とは、互いに対向するとともに、一定間隔のギャップを有するように形成されており、前記配線膜は、前記第３面に設けられ、前記第１反射膜に接続する第１配線および前記第２反射膜に接続する第２配線を含み、前記第１配線と前記第２配線とで、前記ギャップと相関がある前記第１反射膜と前記第２反射膜との間の容量を検出可能に設けられ、前記第２面には、前記第１配線と前記第２配線とを覆う前記低反射率膜が設けられる。
【００１０】
本願の一態様に係る光学デバイスは、第１基板と、第２基板とを重ね合せた光学デバイスであって、前記第１基板は、第１面と、前記第１面の反対側の面である第２面とを有し、前記第２基板は、第３面と、前記第３面の反対側の面である第４面とを有し、前記第１面から前記第４面のいずれかには配線膜が設けられており、前記第２基板の１辺が、前記第１基板の１辺から張り出した張出し部が設けられており、前記張出し部には、複数の端子が配置されており、前記配線膜は、前記端子に接続するとともに、高反射率膜と、透光性膜と、を含み、前記張出し部の始点となる前記第１基板の１辺の近傍における前記配線膜は、前記透光性膜が選択的に配置される。
（【００１１】以降は省略されています）

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