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公開番号2025125705
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-28
出願番号2024021807
出願日2024-02-16
発明の名称電気光学装置、及び電子機器
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G09F 9/30 20060101AFI20250821BHJP(教育;暗号方法;表示;広告;シール)
要約【課題】かかるコストを抑えることが可能な電気光学装置、及び電子機器を提供する。
【解決手段】画素電極と、画素電極に対応して設けられたTFTと、画素電極に電気的に接続された第1容量電極16B1と、容量絶縁層16B2と、第1容量電極16B1と容量絶縁層16B2とを介して設けられた第2容量電極16B3と、を有する容量素子16Bと、画素電極及びTFTと電気的に接続され、第2容量電極16B3と同一層に設けられた第1中継層16B3aと、を備え、第1容量電極16B1は、平面視において第1中継層16B3aと重なる位置まで延在し、第1中継層16B3aと電気的に接続されている。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
画素電極と、
前記画素電極に対応して設けられたトランジスターと、
前記画素電極に電気的に接続された第１容量電極と、容量絶縁層と、前記第１容量電極と前記容量絶縁層とを介して設けられた第２容量電極と、を有する容量素子と、
前記画素電極及び前記トランジスターと電気的に接続され、前記第２容量電極と同一層に設けられた第１中継層と、を備え、
前記第１容量電極は、平面視において前記第１中継層と重なる位置まで延在し、前記第１中継層と電気的に接続されている、電気光学装置。
続きを表示（約 970 文字）【請求項２】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記第１中継層を覆うように、前記容量絶縁層と同一層に設けられた絶縁層を備え、
前記第１中継層は、前記絶縁層から露出した領域において、前記第１容量電極と電気的に接続されている、電気光学装置。
【請求項３】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記第２容量電極は、本体部と、前記本体部から第１方向に沿って突出した突出部と、を有し、
前記第１中継層は、前記突出部と隔離して設けられ、前記第１方向に沿って延在している、電気光学装置。
【請求項４】
請求項３に記載の電気光学装置であって、
前記第１中継層における絶縁層から露出した領域は、前記第１容量電極よりも、前記第１方向と交差する第２方向における幅が狭く、
前記第１容量電極は、前記第１中継層の側面を覆うように設けられている、電気光学装置。
【請求項５】
請求項３に記載の電気光学装置であって、
前記第１中継層と前記トランジスターとを電気的に接続するためのコンタクトホールを有し、
前記コンタクトホール、前記第１中継層における絶縁層から露出した領域、及び前記第２容量電極の前記突出部は、前記第１方向に沿って設けられている、電気光学装置。
【請求項６】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記第１容量電極は、前記容量絶縁層を介して前記第２容量電極の側面を覆うように設けられている、電気光学装置。
【請求項７】
請求項１に記載の電気光学装置であって、
前記第２容量電極に電気的に接続された容量線と、
前記容量線と同一層に設けられ、前記第１中継層及び前記トランジスターと電気的に接続された第２中継層と、
前記容量線及び前記第２中継層を覆うように設けられ、平面視において前記第２容量電極と重なる位置に溝を有すると共に、前記第１中継層と前記第２中継層とを電気的に接続するためのコンタクトホールを有する層間絶縁層と、
を備える、電気光学装置。
【請求項８】
請求項１乃至請求項７のいずれか一項に記載の電気光学装置を備える、電子機器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、電気光学装置、及び電子機器に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、画素電極の下層に、画素電極の電位が印加された第２容量電極を含む容量と、画素電極の電位が印加された中継電極と、が同一層に設けられた電気光学装置の構成が開示されている。容量は、トレンチ部の中に形成されている。中継電極は、下層のトランジスターと電気的に接続するためにコンタクトホール内の電極を介して接続されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－４０９６９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の構成では、同一層に配置される、トレンチ部とコンタクトホールとを、別々の工程で形成する必要があるため、工程数が多くなるという課題がある。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
電気光学装置は、画素電極と、前記画素電極に対応して設けられたトランジスターと、前記画素電極に電気的に接続された第１容量電極と、容量絶縁層と、前記第１容量電極と前記容量絶縁層とを介して設けられた第２容量電極と、を有する容量素子と、前記画素電極及び前記トランジスターと電気的に接続され、前記第２容量電極と同一層に設けられた第１中継層と、を備え、前記第１容量電極は、平面視において前記第１中継層と重なる位置まで延在し、前記第１中継層と電気的に接続されている。
【０００６】
電子機器は、上記に記載の電気光学装置を備える。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
電気光学装置としての液晶装置の構成を示す平面図。
図１に示す液晶装置のＨ－Ｈ線に沿う断面図。
液晶装置の電気的な構成を示す等価回路図。
液晶装置の画素の配置を示す平面図。
液晶装置の非開口領域の構造を示す断面図。
画素の構成を示す平面図。
図６に示す画素のＡ－Ａ線に沿う断面図。
図６に示す画素のＢ－Ｂ線に沿う断面図。
液晶装置の画素の製造方法を示す平面図。
図９に示す画素のＡ－Ａ線に沿う断面図。
液晶装置の画素の製造方法を示す平面図。
図１１に示す画素のＡ－Ａ線に沿う断面図。
液晶装置の画素の製造方法を示す平面図。
図１３に示す画素のＡ－Ａ線に沿う断面図。
液晶装置の画素の製造方法を示す平面図。
図１５に示す画素のＡ－Ａ線に沿う断面図。
液晶装置の画素の製造方法を示す平面図。
図１７に示す画素のＡ－Ａ線に沿う断面図。
電子機器としてのプロジェクターの構成を示す模式図。
変形例の接続部の構成を示す断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図面においては各構成要素を見やすくするため、構成要素によって寸法の縮尺を異ならせて示すことがある。
【０００９】
以下の各図においては、互いに直交する３つの軸をＸ軸、Ｙ軸、及びＺ軸として説明する。Ｘ軸に沿う方向を「Ｘ方向」、Ｙ軸に沿う方向を「Ｙ方向」、Ｚ軸に沿う方向を「Ｚ方向」とし、矢印の方向が＋方向であり、＋方向と反対の方向を－方向とする。なお、＋Ｚ方向または－Ｚ方向から見ることを平面視あるいは平面的ともいう。
【００１０】
さらに、以下の説明において、例えば、基板に対して、「基板上に」との記載は、基板の上に接して配置される場合、基板の上に他の構造物を介して配置される場合、または基板の上に一部が接して配置され、一部が他の構造物を介して配置される場合のいずれかを表すものとする。
（【００１１】以降は省略されています）

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