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公開番号2025112095
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-31
出願番号2024006184
出願日2024-01-18
発明の名称被加工物の加工方法
出願人株式会社ディスコ
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250724BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】支持ウェーハの周縁部のエッチングを抑制することができる被加工物の加工方法を提供すること。
【解決手段】被加工物の加工方法は、ウェーハの表面と支持ウェーハの表面とを接合層を介して接合した被加工物の加工方法であって、被加工物のウェーハの周縁部を厚さ方向に除去するとともに支持ウェーハの表面の周縁部を厚さ方向に一部を除去するトリミングステップ101と、トリミングステップ101の後で、トリミングステップ101によって露出した支持ウェーハの表面の周縁部に保護膜を形成する保護膜形成ステップ103と、保護膜形成ステップ103の後で、被加工物のウェーハ側をエッチングするエッチングステップ105と、を備える。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハの一方の面と支持ウェーハの一方の面とを接合層を介して接合した被加工物の加工方法であって、
該被加工物の該ウェーハの周縁部を厚さ方向に除去するとともに該支持ウェーハの該一方の面の周縁部を厚さ方向に一部を除去するトリミングステップと、
該トリミングステップの後で、該トリミングステップによって露出した該支持ウェーハの該一方の面の周縁部に保護膜を形成する保護膜形成ステップと、
該保護膜形成ステップの後で、該被加工物の該ウェーハ側をエッチングするエッチングステップと、
を備えることを特徴とする被加工物の加工方法。
続きを表示（約 370 文字）【請求項２】
該保護膜形成ステップは、該被加工物の該ウェーハの側面においても保護膜を形成することを特徴とする請求項１に記載の被加工物の加工方法。
【請求項３】
該エッチングステップの前に、該被加工物の該ウェーハ側を研削して該ウェーハを薄化する研削ステップをさらに備えることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の被加工物の加工方法。
【請求項４】
該トリミングステップは、切削ブレードを切り込ませて除去することを特徴とする請求項１に記載の被加工物の加工方法。
【請求項５】
該保護膜形成ステップの前に、該トリミングステップによって露出した該支持ウェーハの該一方の面の周縁部を平坦化する平坦化ステップをさらに備えることを特徴とする請求項１または請求項４に記載の被加工物の加工方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハの一方の面と支持ウェーハの一方の面とを接合層を介して接合した被加工物の加工方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、ウェーハが支持ウェーハ上に接合層を介して接合した積層ウェーハ（被加工物）が増加している。このような積層ウェーハのウェーハ側を研削加工などで薄化する前に、薄化後のウェーハに尖ったエッジが形成されないように、ウェーハに円形状にトリミングを施すことがある（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－０９２４１３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特許文献１等に記載の方法では、トリミングを施す際、加工精度の問題等で上方のウェーハのトリミングに留まらず、下方の支持ウェーハにも厚さ方向において一部の深さのトリミングを施すことがある。このような場合、ウェーハ側に研削加工を施した後に加工ダメージを除去する目的で、ウェーハ側のエッチングをさらに施すと、トリミングを施したことで露出した支持ウェーハの周縁部もエッチングされる。
【０００５】
支持ウェーハの接合層側にデバイスが形成されている場合は、この周縁部のエッチングによって支持ウェーハのデバイスが破損するという問題がある。
【０００６】
そのため、ウェーハが支持ウェーハ上に接合層を介して接合した積層ウェーハ（被加工物）を加工する際、トリミングによって露出した支持ウェーハの周縁部がエッチングされないようにすべきという課題がある。
【０００７】
本発明の目的は、支持ウェーハの周縁部のエッチングを抑制することができる被加工物の加工方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の被加工物の加工方法は、ウェーハの一方の面と支持ウェーハの一方の面とを接合層を介して接合した被加工物の加工方法であって、該被加工物の該ウェーハの周縁部を厚さ方向に除去するとともに該支持ウェーハの該一方の面の周縁部を厚さ方向に一部を除去するトリミングステップと、該トリミングステップの後で、該トリミングステップによって露出した該支持ウェーハの該一方の面の周縁部に保護膜を形成する保護膜形成ステップと、該保護膜形成ステップの後で、該被加工物の該ウェーハ側をエッチングするエッチングステップと、を備えることを特徴とする。
【０００９】
前記被加工物の加工方法では、該保護膜形成ステップは、該被加工物の該ウェーハの側面においても保護膜を形成しても良い。
【００１０】
前記被加工物の加工方法では、該エッチングステップの前に、該被加工物の該ウェーハ側を研削して該ウェーハを薄化する研削ステップをさらに備えても良い。
（【００１１】以降は省略されています）

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