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公開番号2025126194
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-28
出願番号2025102748,2024111738
出願日2025-06-18,2020-10-07
発明の名称基板搬送装置及び基板位置ずれ測定プログラム
出願人川崎重工業株式会社,カワサキロボティクス(ユーエスエー),インク.
代理人弁理士法人有古特許事務所
主分類H01L 21/68 20060101AFI20250821BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】コンパクトな基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板搬送装置(1)は、基板(W)を保持するハンド(12)と、ハンド(12)を移動させるアーム(11)とを備えるロボット(10)と、ハンド(12)の移動経路(T)を設定し、ハンド(12)が移動経路(T)上を目標位置(Py)に向かって移動するようにアーム(11)を制御するロボット制御装置(15)と、所定の確認位置(Px)に位置するハンド(12)に保持された基板(W)を撮影可能に配置されているカメラ(6)と、を備え、ロボット制御装置(15)は、確認位置(Px)を通るように移動経路(T)を設定し、ハンド(12)が確認位置(Px)に位置したときにカメラ(6)が撮影した画像(G)を取得し、画像(G)に写されている基板(W)と所定の環境との距離を算出し、距離に基づいて基板(W)の基準位置(S)からの位置ずれ量(L)を算出する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板搬送装置であって、
基板を保持するハンドと、前記ハンドを移動させるアームとを備えるロボットと、
前記ハンドの移動経路を設定し、前記ハンドが前記移動経路上を目標位置に向かって移動するように前記アームを制御するロボット制御装置と、
前記ハンドの進行方向を撮影可能に前記ハンドに備えられ、所定の確認位置に位置する前記ハンドに保持された前記基板及び前記基板を取り巻く所定の環境を撮影するカメラと、を備え、
前記ロボット制御装置は、前記確認位置を通るように前記移動経路を設定し、前記ハンドが前記確認位置に位置したときに前記カメラが撮影した画像を取得し、前記画像に写されている前記基板と前記所定の環境との距離を算出し、前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの位置ずれ量を算出する、基板搬送装置。
続きを表示（約 690 文字）【請求項２】
前記カメラは、前記基板及び前記環境を立体的に撮像するステレオビデオカメラである、請求項１に記載の基板搬送装置。
【請求項３】
前記ロボット制御装置は、前記位置ずれ量に基づいて前記目標位置を補正する、請求項１又は２に記載の基板搬送装置。
【請求項４】
前記ハンドは、前記基準位置からの位置ずれ方向への位置ずれを許容し、
前記ロボット制御装置は、前記画像に写されている前記位置ずれ方向における前記基板の一対の端部と前記環境との一対の間隙の寸法に基づいて、前記基板の前記基準位置からの位置ずれ量を算出する、請求項１乃至３の何れか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項５】
前記基準位置は、前記確認位置において、一対の間隙の寸法が互いに等しくなる位置である、請求項４に記載の基板搬送装置。
【請求項６】
前記環境は、前記移動経路上を移動する前記基板が通過する基板処理設備のゲートの開口周縁である、請求項１乃至５の何れか１項に記載の基板搬送装置。
【請求項７】
所定の確認位置を通るように移動経路を設定し、
基板を保持する基板搬送装置のハンドであって、前記移動経路上を移動するハンドが前記確認位置に位置したときに前記ハンドの進行方向を撮影可能に前記ハンドに備えられたカメラが撮影した画像を取得し、
前記画像に写されている前記基板と前記基板を取り巻く所定の環境との距離を算出し、
前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの位置ずれ量を算出する、基板位置ずれ測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板搬送装置及び基板位置ずれ測定方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から基板の自動位置合せ装置が知られている。例えば特許文献１の基板の自動位置合せ装置は、２つのセンサーと２つの光源と基板を搬送する搬送チャックとを備えている。センサーと光源は、基板を挟んで上下に、且つ基板の搬送方向に関して対称となる位置で、基板の周縁部が２つのセンサーと光源間を横切るように設置されている。そして、搬送チャックが基板を吸引止着して移動させ、２つのセンサが遮光されたときのセンサー出力に基づいて基板の中心位置を算出し、その上で基板の基準点座標からのずれ量を算出する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭６３－９４６５３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、特開昭６３－９４６５３号公報に記載の自動位置合せ装置は、位置ずれ量を算出するにあたり、基板を搬送方向に向けて一直線に大きく動かす必要があり、装置が大型化しやすいという問題があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
上記課題を解決するため、本発明のある態様に係る基板搬送装置は、基板を保持するハンドと、前記ハンドを移動させるアームとを備えるロボットと、前記ハンドの移動経路を設定し、前記ハンドが前記移動経路上を目標位置に向かって移動するように前記アームを制御するロボット制御装置と、所定の確認位置に位置する前記ハンドに保持された前記基板を撮影可能に配置されているカメラと、を備え、前記ロボット制御装置は、前記確認位置を通るように前記移動経路を設定し、前記ハンドが前記確認位置に位置したときに前記カメラが撮影した画像を取得し、前記画像に写されている前記基板と所定の環境との距離を算出し、前記距離に基づいて前記基板の基準位置からの位置ずれ量を算出する。
【０００６】
この構成によれば、確認位置において基板の位置ずれを測定することができ、基板の位置ずれを補償することができる基板搬送装置をコンパクトにすることができる。
【発明の効果】
【０００７】
本発明は、基板搬送装置をコンパクトにすることができるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
実施の形態に係る基板搬送装置を備える基板処理設備の構成例を示す斜視図である。
図１の基板処理設備の構成例を示す平面図である。
図１の基板処理設備の動作例を示す平面図であり、ハンドが確認位置に位置する状態を示す図である。
図１の基板処理設備の動作例を示す図であり、確認位置に位置するハンドをカメラが撮影した画像を示す図である。
図１の基板処理設備の動作例を示す平面図であり、ハンドの移動経路を修正した状態を示す図である。
図１の基板搬送装置の変形例を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、実施の形態について、図面を参照しながら説明する。なお、以下の実施の形態によって本発明が限定されるものではない。また、以下では、全ての図を通じて、同一又は相当する要素には同一の参照符号を付して、その重複する説明を省略する。
【００１０】
図１は、実施の形態に係る基板搬送装置１を備える基板処理設備１００の構成例を示す斜視図である。図２は、基板処理設備１００の構成例を示す平面図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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