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公開番号2025131450
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-09
出願番号2024029216
出願日2024-02-28
発明の名称基板搬送ロボット
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250902BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】基板の搬送において直線的なスライド移動を行う場合に、筐体の開口部からの異物の進入および漏出を抑制可能な基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、基板101を保持するハンド11および12を支持する上アーム30、下アーム40、および、アーム支持部50と、直線的にスライド移動するアーム支持部50が配置されている溝状の開口部61aを有する筐体61とを備えている。また、基板搬送ロボット100は、筐体61の溝状の開口部61aを封止するベルト状のシール部材80と、開口部61aの周縁部とシール部材80とを、ラビリンス構造を有しながら互いに対向させる対向部62と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持するハンドを支持する支持部と、
直線的にスライド移動する前記支持部が配置されている溝状の開口部を有する筐体と、
溝状の前記開口部を封止するベルト状のシール部材と、
前記開口部の周縁部と前記シール部材とを、ラビリンス構造を有しながら互いに対向させる対向部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記対向部は、前記開口部の周縁部に配置されているとともに、ベルト状の前記シール部材の短手方向の両端において、ラビリンス構造を有しながら前記シール部材に対して対向して配置されている、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記対向部は、前記シール部材の短手方向の両端に対して対向して挟み込むことによって、前記シール部材に対してラビリンス構造を有しながら配置されている、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記対向部は、前記筐体の前記開口部の周縁部に配置された折り曲げられた板状の折り曲げ部材を含み、前記折り曲げ部材と前記開口部の周縁部とがベルト状の前記シール部材を前記シール部材の表面と裏面との両方から挟み込むことによって、前記シール部材に対してラビリンス構造を有しながら配置されている、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記折り曲げ部材は、前記筐体の表面に沿うとともに締結部材により前記開口部の周縁部に締結される締結部分と、前記筐体の表面から離間する方向に延びる離間部分と、前記離間部分から延びるとともに前記シール部材を覆うカバー部分とを有し、
前記対向部は、前記開口部の周縁部と前記折り曲げ部材の前記カバー部分とがベルト状の前記シール部材を両面から挟み込むことによって、前記シール部材に対してラビリンス構造を有しながら配置されている、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記対向部は、外部からの液体の進入経路が２回折り曲げられたＵ字経路部分を少なくとも含むラビリンス構造を有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記支持部を昇降移動させる昇降移動部をさらに備え、
前記対向部は、前記昇降移動部により昇降移動する前記支持部が配置されている前記開口部の周縁部において、ラビリンス構造を有しながら前記シール部材に対して対向して配置されている、請求項１～５のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記支持部は、水平方向に沿って前記ハンドを移動させる水平移動部を含み、
前記対向部は、前記昇降移動部により昇降移動する前記水平移動部を含む前記支持部が配置されている前記開口部の周縁部において、ラビリンス構造を有しながら前記シール部材に対して対向して配置されている、請求項７に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記支持部は、前記水平移動部として、互いに水平面に沿って回転する複数のリンク部材を有する水平多関節のロボットアーム部を含み、
前記対向部は、水平多関節の前記ロボットアーム部を含む前記支持部が配置されている前記開口部の周縁部において、ラビリンス構造を有しながら前記シール部材に対して対向して配置されている、請求項８に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記支持部は、互いに別個に前記基板を保持する第１ハンドおよび第２ハンドを含む前記ハンドを支持し、
前記対向部は、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの各々を支持する前記支持部が配置されている前記開口部の周縁部において、ラビリンス構造を有しながら前記シール部材に対して対向して配置されている、請求項１～５のいずれか１項に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボットに関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ロボットが開示されている。特許文献１には、基板を保持する基板保持ハンドと基板保持ハンドを移動させるアームとを備える基板搬送ロボットが開示されている。この基板搬送ロボットは、アームを昇降させるアーム昇降機構を覆う柱状の筐体を備えている。筐体は、昇降移動するアームが配置されている開口部を有している。そして、開口部において搬送用ベルトが配置されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２２／０４９７８９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記特許文献１に記載された基板搬送ロボットのように、基板の搬送において昇降移動などの直線的なスライド移動を行う場合には、溝状の開口部が筐体に配置される。この場合において、上記特許文献１に記載の基板搬送ロボットのように、開口部を覆うようにベルト状の部材が配置される場合がある。しかしながら、開口部を覆うようにベルト状の部材を配置する場合にも、開口部とベルト状の部材との間に生じた隙間に起因して、開口部が配置されている筐体の内部に外部から液体などの異物が進入する場合がある。また、筐体の内部から生じたパーティクルが、開口部とベルト状の部材との間に生じた隙間から漏れ出す場合がある。そのため、基板の搬送において直線的なスライド移動を行う場合に、筐体の開口部からの異物の進入および漏出を抑制することが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、基板の搬送において直線的なスライド移動を行う場合に、筐体の開口部からの異物の進入および漏出を抑制することが可能な基板搬送ロボットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、基板を保持するハンドを支持する支持部と、直線的にスライド移動する支持部が配置されている溝状の開口部を有する筐体と、溝状の開口部を封止するベルト状のシール部材と、開口部の周縁部とシール部材とを、ラビリンス構造を有しながら互いに対向させる対向部と、を備える。
【０００７】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、溝状の開口部を封止するベルト状のシール部材と、開口部の周縁部とシール部材とを、ラビリンス構造を有しながら互いに対向させる対向部とを備える。これにより、対向部が筐体の溝状の開口部の周縁部と、開口部を封止するシール部材とを対向させることによって、開口部の周縁部とシール部材とによるラビリンス構造が形成されるため、シール部材と開口部の周縁部との間の隙間を介した異物の進入および漏出を抑制できる。その結果、基板の搬送において直線的なスライド移動を行う場合に、筐体の開口部からの異物の進入および漏出を抑制できる。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、基板の搬送において直線的なスライド移動を行う場合に、筐体の開口部からの異物の進入および漏出を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示の第１実施形態による基板搬送ロボットを備える基板処理システムの構成を示した模式図である。
基板搬送ロボットの構成を示したブロック図である。
基板搬送ロボットの側方からの模式的な断面図である。
図３のＩＶ－ＩＶ線に沿う断面図である。
対向部の構成を模式的に示した断面図である。
第２実施形態による基板搬送ロボットの構成を示した模式図である。
スライド移動部における対向部とシール部材との構成を説明するための断面図である。
本開示の第１および第２実施形態の第１変形例によるシール部材および対向部の一例を示した断面図である。
本開示の第１および第２実施形態の第２変形例によるシール部材および対向部の一例を示した断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［第１実施形態］
以下、本開示を具体化した本開示の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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