特許ウォッチ

公開番号2025131435
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-09
出願番号2024029190
出願日2024-02-28
発明の名称基板搬送ロボット
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250902BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】第1ハンドと第2ハンドとの両方によって、上下方向において共通してアクセスできる領域の大型化が可能な基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、各々が基板101を保持するハンド11およびハンド12と、ハンド11を水平方向に沿って移動させる水平多関節のアーム30と、アーム30とは別個に配置され、ハンド12を水平方向に沿って移動させる水平多関節のアーム40と、アーム30およびアーム40を下方に吊り下げて支持するアーム吊り下げ部50と、アーム吊り下げ部50を昇降移動させることによって、ハンド11およびハンド12を昇降移動させる昇降部60と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
各々が基板を保持する第１ハンドおよび第２ハンドと、
前記第１ハンドを水平方向に沿って移動させる水平多関節の第１アームと、
前記第１アームとは別個に配置され、前記第２ハンドを水平方向に沿って移動させる水平多関節の第２アームと、
前記第１アームおよび前記第２アームを下方に吊り下げて支持するアーム吊り下げ部と、
前記アーム吊り下げ部を昇降移動させることによって、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドを昇降移動させる昇降部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記第１アームは、前記アーム吊り下げ部の下方において、水平面内の左右方向の一方に配置されており、
前記第２アームは、前記アーム吊り下げ部の下方において、水平面内の左右方向の他方に前記第１アームと並んで配置されている、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記第２アームの先端に配置され、前記第２ハンドを前記第１ハンドよりも下方において支持する支持部をさらに備え、
前記第１ハンドおよび前記第２ハンドは、互いに上下方向に離間した状態で配置されている、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記支持部は、
前記第２アームの先端から左右方向の他方に沿って延びる第１水平部分と、
前記第１水平部分の左右方向の他方の端部から下方に延びる上下部分と、
平面視において前記第１水平部分と重畳して配置され、前記上下部分から左右方向の一方に沿って延びる第２水平部分と、を含み、
前記第１水平部分と前記上下部分と前記第２水平部分とによるＵ字形状を有する、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記第１水平部分は、前記第１ハンドに保持される前記基板の位置よりも大きい分だけ、左右方向の他方に沿って延びており、
前記上下部分は、前記第１ハンドに保持された前記基板から左右方向の他方に離間した位置において、前記第１水平部分から下方に延びている、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記第１ハンドの基端に接続され、前記第１ハンドを、水平方向に沿って延びる回転軸線回りに回転させる第１ハンド回転部と、
前記第２ハンドの基端に接続され、前記第２ハンドを、水平方向に沿って延びる回転軸線回りに回転させる第２ハンド回転部とを、さらに備える、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記第１アームおよび前記第２アームの動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、
平面視において、前記第１ハンドが前記アーム吊り下げ部と重畳した位置に配置された状態で、前記第１ハンド回転部により前記第１ハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線回りに回転させ、
平面視において、前記第２ハンドが前記アーム吊り下げ部と重畳した位置に配置された状態で前記第２ハンド回転部により前記第２ハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線回りに回転させる、請求項６に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記制御部は、平面視において、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドが互いに重畳した位置に配置された状態で、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドの各々を水平方向に沿って延びる回転軸線回りに回転させる、請求項７に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記昇降部に接続され、前記昇降部により昇降移動する移動フレーム部をさらに備え、
前記アーム吊り下げ部は、前記移動フレーム部に接続されている、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記アーム吊り下げ部は、前記移動フレーム部に対して水平面内において回転する、請求項９に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボットに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ロボットが開示されている。特許文献１には、基板を搬送するロボットが開示されている。このロボットは、基板としてのウエハが搭載される第１ハンドおよび第２ハンドを備えている。第１ハンドは、第１アームの先端に連結されている。第２ハンドは、第２アームの先端に連結されている。第１アームは、アーム支持部の上面側に取り付けられており、アーム支持部に対して上下方向を回転軸として回転する。第２アームは、アーム支持部の下面側に取り付けられており、アーム支持部に対して上下方向を回転軸として回転する。また、アーム支持部は、柱部により上下方向に移動可能に保持されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－３３７３７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、上記特許文献１に記載されたロボットのように、上下方向を回転軸として回転する第１アームおよび第２アームを、それぞれ、アーム支持部の上面側および下面側に配置する場合には、上下方向において第１アームと第２アームとの間にアーム支持部が配置されていることに起因して、アーム支持部の上面側に配置されている第１アームは、アーム支持部が配置されている位置よりも低い位置に移動することができない。そのため、アーム支持部を上下方向に移動させた場合にも、上面側の第１アームに接続されている第１ハンドが、アーム支持部が配置されている位置よりも低い位置にアクセスすることができないので、第１アームに接続された第１ハンドと第２アームに接続された第２ハンドとによって、共通してアクセスできる領域が制限される。そこで、第１ハンドと第２ハンドとの両方によって、上下方向において共通してアクセスできる領域の大型化が望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、第１ハンドと第２ハンドとの両方によって、上下方向において共通してアクセスできる領域の大型化が可能な基板搬送ロボットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、各々が基板を保持する第１ハンドおよび第２ハンドと、第１ハンドを水平方向に沿って移動させる水平多関節の第１アームと、第１アームとは別個に配置され、第２ハンドを水平方向に沿って移動させる水平多関節の第２アームと、第１アームおよび第２アームを下方に吊り下げて支持するアーム吊り下げ部と、アーム吊り下げ部を昇降移動させることによって、第１ハンドおよび第２ハンドを昇降移動させる昇降部と、を備える。
【０００７】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、第１アームおよび第２アームを下方に吊り下げて支持するアーム吊り下げ部を備える。これにより、第１ハンドを移動させる第１アームと、第２ハンドを移動させる第２アームとの両方が、アーム吊り下げ部の下方に吊り下げられて支持されているため、上下方向において第１アームと第２アームとの間にアーム支持部が配置されている場合に比べて、第１ハンドと第２ハンドとをより下方の位置に共通してアクセスさせることができる。また、第１アームと第２アームとの両方がアーム吊り下げ部の下方に吊り下げられて支持されているため、上下方向において第１アームと第２アームとの間にアーム支持部が配置されている場合に比べて、第１アームにより移動する第１ハンドと第２アームにより移動する第２ハンドとを、上下方向においてより近づけて配置できる。これらの結果、第１ハンドと第２ハンドとの両方によって、上下方向において共通してアクセスできる領域を大型化できる。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、第１ハンドと第２ハンドとの両方によって、上下方向において共通してアクセスできる領域を大型化できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示の一実施形態による基板搬送ロボットを備える基板処理システムの構成を示した模式図である。
基板搬送ロボットの制御的な構成を示したブロック図である。
基板搬送ロボットにおけるハンドの構成を説明するための斜視図である。
昇降部による昇降移動を示した側面図である。
アームの構成を説明するための正面図である。
昇降動作、および、ハンドの回転の動作を行う場合におけるハンドの配置を説明するための平面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本開示を具体化した本開示の一実施形態を図面に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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