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公開番号2025131392
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-09
出願番号2024029110
出願日2024-02-28
発明の名称基板搬送ロボット
出願人川崎重工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250902BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】水平移動部を備える基板搬送ロボットにおいてハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる場合に、基板搬送ロボットの占める空間の領域をコンパクトにすることが可能な基板搬送ロボットを提供する。
【解決手段】この基板搬送ロボット100は、基板101を保持するハンド11および12と、水平方向に沿って延びる回転軸線周りにハンド11および12を回転させるハンド回転部21および22と、ハンド11および12を水平方向に沿って移動させる水平移動部41および42と、水平移動部41および42に接続され、水平移動部41および42から所定の距離分だけ離間した位置にハンド回転部21および22の回転軸線が配置された状態でハンド11および12を支持する支持部31および32と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を保持するハンドと、
水平方向に沿って延びる回転軸線周りに前記ハンドを回転させるハンド回転部と、
前記ハンドを水平方向に沿って移動させる水平移動部と、
前記水平移動部に接続され、前記水平移動部から所定の距離分だけ離間した位置に前記ハンド回転部の回転軸線が配置された状態で前記ハンドを支持する支持部と、を備える、基板搬送ロボット。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記ハンドは、互いに上下方向に離間して配置され、各々が前記基板を保持する第１ハンドおよび第２ハンドを含み、
前記支持部は、前記水平移動部から上方向に離間した位置において前記第１ハンドを支持する第１支持部と、前記水平移動部から下方向に離間した位置において前記第２ハンドを支持する第２支持部とを含む、請求項１に記載の基板搬送ロボット。
【請求項３】
前記水平移動部は、前記第１ハンドを水平方向に沿って移動させる第１水平移動部と、前記第２ハンドを水平方向に沿って移動させる第２水平移動部とを含み、
前記第１支持部は、前記第１水平移動部に接続され、前記第１水平移動部から上方向に離間した位置において前記第１ハンドを支持し、
前記第２支持部は、前記第２水平移動部に接続され、前記第２水平移動部から下方向に離間した位置において前記第２ハンドを支持する、請求項２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項４】
前記第１水平移動部と前記第２水平移動部との各々が接続される水平回転機構部をさらに備え、
前記第１水平移動部と前記第２水平移動部とは、水平面に沿って前記水平回転機構部に対して個別に回転する、請求項３に記載の基板搬送ロボット。
【請求項５】
前記第１水平移動部は、前記水平回転機構部の上方に接続され、前記第２水平移動部は前記水平回転機構部の下方に接続されている、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
【請求項６】
前記支持部は、前記所定の距離として前記水平移動部から前記ハンド回転部による回転分だけ離間した位置に前記ハンド回転部の回転軸線が配置された状態で、前記ハンドを支持する、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項７】
前記支持部は、前記所定の距離として前記ハンドに支持される円板形状の前記基板の半径に対応する距離以上だけ前記水平移動部から離間した位置に前記ハンド回転部の回転軸線が配置された状態で、前記ハンドを支持する、請求項６に記載の基板搬送ロボット。
【請求項８】
前記ハンド回転部および前記水平移動部の動作を制御する制御部をさらに備え、
前記制御部は、前記水平移動部により前記ハンドを上下方向から見て前記水平移動部に対してオーバーラップする位置に移動させた状態で、前記ハンド回転部により前記ハンドを回転させる、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項９】
前記水平移動部が接続され、前記ハンドを昇降移動させる昇降部をさらに備える、請求項１または２に記載の基板搬送ロボット。
【請求項１０】
前記第１水平移動部と前記第２水平移動部との各々を含む前記水平移動部が前記水平回転機構部を介して接続され、前記水平回転機構部を昇降移動させることによって、前記第１ハンドおよび前記第２ハンドを連動して昇降移動させる昇降部をさらに備える、請求項４に記載の基板搬送ロボット。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
この開示は、基板搬送ロボットに関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板搬送ロボットが開示されている。特許文献１に開示されている基板搬送ロボットは、基板を保持する基板保持ハンドと、基板保持ハンドを移動させるアームとを備えている。このアームは、水平多関節ロボットアームであって、水平面内において回動する第１アームおよび第２アームを含んでいる。また、基板保持ハンドは、アームに対して水平面内において回動する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
国際公開第２０２２／０４９７８９号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ここで、上記特許文献１に記載されたような基板搬送ロボットにおいて、水平方向に沿って延びる回転軸線周りにハンドを回転させる場合がある。上記特許文献１に記載の基板搬送ロボットは、水平面内においてハンドを移動させる水平多関節ロボットアームを備えているため、ハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させるためには、ハンドとアームとが互いに物理的に干渉しないようにアームに対してハンドを水平方向にずらして配置する必要がある。すなわち、アームを折り畳んだ状態ではハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させることが困難であるため、アームに対してハンドが重畳しないように配置した状態でハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる必要がある。このため、ハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させるためにアームに対してハンドが重畳しないように配置するための空間が必要となるため、基板搬送ロボットの占める空間の領域が大きくなる。そのため、水平移動部を備える基板搬送ロボットにおいてハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる場合に、基板搬送ロボットの占める空間の領域をコンパクトにすることが望まれている。
【０００５】
この開示は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この開示の１つの目的は、水平移動部を備える基板搬送ロボットにおいてハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる場合に、基板搬送ロボットの占める空間の領域をコンパクトにすることが可能な基板搬送ロボットを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、基板を保持するハンドと、水平方向に沿って延びる回転軸線周りにハンドを回転させるハンド回転部と、ハンドを水平方向に沿って移動させる水平移動部と、水平移動部に接続され、水平移動部から所定の距離分だけ離間した位置にハンド回転部の回転軸線が配置された状態でハンドを支持する支持部と、を備える。ここで、水平方向に沿って延びる回転軸線とは、水平方向に延びる回転軸線のみならず、水平方向から少し傾いた回転軸線も含む広い概念である。たとえば、「水平方向からの傾き」は、基板の重さによる傾き、ハンド自体の重さによる傾き、基板搬送ロボット自体の傾き、または、基板搬送ロボットが配置される装置自体の傾きなどに起因する水平方向からの傾きを含む。また、「水平方向」は、基板搬送ロボットが配置されている設置面に対して平行な方向、基板が載置される基板載置部の載置面に対して平行な方向、または、重力方向である鉛直方向に対して直交する水平面に平行な方向を含む広い概念として記載している。
【０００７】
この開示の一の局面による基板搬送ロボットは、上記のように、水平移動部に接続され、水平移動部から所定の距離分だけ離間した位置にハンド回転部の回転軸線が配置された状態でハンドを支持する支持部を備える。これにより、支持部によって水平移動部から所定の距離分だけ離間した位置にハンド回転部の回転軸線が配置された状態でハンドが支持されているため、ハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる場合において水平移動部にハンドが物理的に干渉することを抑制できる。そのため、ハンドを回転させるために、水平移動部に対してハンドを水平方向にずらして配置する必要がないので、基板搬送ロボットの占める空間の領域の大型化を抑制できる。その結果、水平移動部を備える基板搬送ロボットにおいてハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる場合に、基板搬送ロボットの占める空間の領域をコンパクトにできる。
【発明の効果】
【０００８】
本開示によれば、水平移動部を備える基板搬送ロボットにおいてハンドを水平方向に沿って延びる回転軸線周りに回転させる場合に、基板搬送ロボットの占める空間の領域をコンパクトにできる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
本開示の第１実施形態による基板搬送ロボットを備える基板処理システムの構成を示した模式図である。
基板搬送ロボットの構成を示したブロック図である。
基板搬送ロボットにおけるハンドの構成を説明するための斜視図である。
基板搬送ロボットの構成を説明するための側面図である。
支持部の構成を説明するための正面図である。
第２実施形態による基板搬送ロボットの構成を説明するための側面図である。
第２実施形態による基板搬送ロボットにおける水平移動部の動作説明をするための側面図である。
第１および第２実施形態の変形例によるハンド回転部と水平移動部との配置の一例を示した図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
［第１実施形態］
以下、本開示を具体化した本開示の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
（【００１１】以降は省略されています）

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