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公開番号2025133292
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-11
出願番号2024031155
出願日2024-03-01
発明の名称基板固定装置
出願人日本放送協会
代理人個人
主分類H05K 3/00 20060101AFI20250904BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】作業性及びコスト低減に優れた基板固定装置を提供すること。
【解決手段】基板を挟む把持部、把持部に続き、把持部を容器に挿入するときに容器の淵を避けるために湾曲した湾曲部、湾曲部に続く持ち手部、及び持ち手部に続く支持部を備え、把持部で基板を把持し、載置面に対して略平行に固定可能な基板固定装置であって、把持部は、第1の突き出し部を備え、支持部は、第1の突き出し部と同方向に突き出した第2の突き出し部と、第2の突き出し部とは反対方向に突き出した第3の突き出し部とを備え、第1の突き出し部と第2の突き出し部とで、基板固定装置を載置面に対して略平行に支持し、第3の突き出し部と湾曲部の頂部とで、上下反転した基板固定装置を載置面に対して略平行に支持する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基板を挟む把持部、該把持部に続き、前記把持部を容器に挿入するときに該容器の淵を避けるために湾曲した湾曲部、該湾曲部に続く持ち手部、及び該持ち手部に続く支持部を備え、前記把持部で前記基板を把持し、載置面に対して略平行に固定可能な基板固定装置であって、
前記把持部は、第１の突き出し部を備え、
前記支持部は、前記第１の突き出し部と同方向に突き出した第２の突き出し部と、前記第２の突き出し部とは反対方向に突き出した第３の突き出し部とを備え、
前記第１の突き出し部と前記第２の突き出し部とで、前記基板固定装置を前記載置面に対して略平行に支持し、
前記第３の突き出し部と前記湾曲部の頂部とで、上下反転した前記基板固定装置を前記載置面に対して略平行に支持する、基板固定装置。
続きを表示（約 260 文字）【請求項２】
前記把持部は、前記基板が置かれる平面と、先端が鋭角となるように斜めに切られた斜面とを有する、請求項１に記載の基板固定装置。
【請求項３】
前記湾曲部の形状は、多角形を半分に切断した弧状、「コ」の字状、円弧状、又は楕円を長軸方向に半分に切断した形状である、請求項１に記載の基板固定装置。
【請求項４】
前記容器は、前記基板を化学処理する薬剤を入れる容器であり、前記基板を容器内で化学処理するために用いられる、請求項１から３のいずれか１項に記載の基板固定装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板を把持して固定する基板固定装置に関し、特に、基板の現像又はウェットエッチング等での化学処理のために基板を薬剤に浸すために好適に用いられる基板固定装置に関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体素子及び空間光変調器（ＳｐａｔｉａｌＬｉｇｈｔＭｏｄｕｌａｔｏｒ）等のデバイスは、シリコン（Ｓｉ）又はガラスなど様々な素材の基板に、他の物質を成膜したり、レジストなどでマスクを作製してエッチングを行ったりして、目的のデバイスを作製する。
このようなデバイスを研究段階で作製する場合、様々なサイズ及び形状の基板を加工している。
そのため、レジストの現像を行う際に、１枚１枚各基板に対して、露光済みの基板をピンセットで基板ホルダーにセットし、現像液又はリンス液等の薬剤が入った容器に順に浸していき、ピンセットでホルダーから外して、ブロアを行って乾燥させる処理を行う。
このような処理を行う場合に、作業の効率化及びコスト低減等のため処理中に基板を把持して固定する基板固定装置が望まれる。
基板を把持して固定する基板固定装置として、例えば、特許文献１に記載された半田付け用基板ホルダーが知られている。
特許文献１の半田付け用基板ホルダーは、スルーホール基板の表面側から差し込んだ電子部品のリード線を当該スルーホール基板の裏面に突出させて当該裏面側から半田付けする作業に用いられるものであって、スルーホール基板を把持する把持部材と、所定箇所に固定される固定部材と、把持部材と固定部材との間に介在し、把持部材を姿勢変更可能に支持する支持機構とを具備する。把持部材は例えばクリップが用いられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
実用新案登録第３２１９５０２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板の現像又はウェットエッチング等のために基板を溶液に浸し、その後、基板の乾燥を行う処理については、以下のように作業上及びコスト上の課題がある。
（１）作業に関して
ピンセットで基板をつかみ、作業を行う場合、次のような課題がある。
ア微細構造を含む現像は時間管理が厳しく、ピンセットですくい上げるのでは、つかみ損ねる可能性があり、つかみ損ねた際、余分に時間がかかり再現性が低下する。
イ基板落下に伴う、基板本体や基板上の構造物の破損リスクに対する懸念がある。
ウピンセットで現像液やリンス液などから基板をすくいあげる際、基板の安定性が低いことから、薬剤の飛散や手指への付着など安全上の懸念がある。
【０００５】
（２）コストに関して
基板ホルダーに合わせて現像液などの容器も大きくなるため、使用する薬剤が多くなってしまうため、コストや安全性への懸念が考えられる。
薬剤の使用量を節約する方法としては、スピン現像機又はシャーレで現像できる専用のホルダーを作るということが考えられるが、大学や研究室などでの実験で、様々なサイズの基板を使用する場合や、使用する基板が定形外（通常の丸や角型以外の形状）の場合、スピン現像機のチャック用の台座やシャーレで現像用の専用ホルダーを準備する必要があり、コストがかかりすぎてしまう。
【０００６】
本発明は、作業性及びコスト低減に優れた基板固定装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本発明に係る態様は、基板を挟む把持部、該把持部に続き、前記把持部を容器に挿入するときに該容器の淵を避けるために湾曲した湾曲部、該湾曲部に続く持ち手部、及び該持ち手部に続く支持部を備え、前記把持部で前記基板を把持し、載置面に対して略平行に固定可能な基板固定装置であって、
前記把持部は、第１の突き出し部を備え、
前記支持部は、前記第１の突き出し部と同方向に突き出した第２の突き出し部と、前記第２の突き出し部とは反対方向に突き出した第３の突き出し部とを備え、
前記第１の突き出し部と前記第２の突き出し部とで、前記基板固定装置を前記載置面に対して略平行に支持し、
前記第３の突き出し部と前記湾曲部の頂部とで、上下反転した前記基板固定装置を前記載置面に対して略平行に支持する、基板固定装置である。
【０００８】
（２）上記（１）に記載の基板固定装置において、前記把持部は、前記基板が置かれる平面と、先端が鋭角となるように斜めに切られた斜面とを有してもよい。
【０００９】
（３）上記（１）に記載の基板固定装置において、前記湾曲部の形状は、多角形を半分に切断した弧状、円弧状、又は楕円を長軸方向に半分に切断した形状であってもよい。
【００１０】
（４）上記（１）から（３）のいずれかに記載の基板固定装置において、前記容器は、前記基板を化学処理する薬剤を入れる容器であり、前記基板を容器内で化学処理するために用いられてもよい。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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