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公開番号2025145772
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-03
出願番号2024046151
出願日2024-03-22
発明の名称有機分子メモリ
出願人キオクシア株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H10B 99/00 20230101AFI20250926BHJP()
要約【課題】大容量化の実現が可能な有機分子メモリを提供する。
【解決手段】実施形態の有機分子メモリは、第1の電極と、第2の電極と、第1の電極と第2の電極との間に設けられ、第1の電極から第2の電極に向かう第1の方向に延び、第1の分子と、第1の分子と第2の電極との間に設けられた第2の分子と、を含む有機分子層と、第2の分子と対向する第3の電極と、を備える。第1の分子及び第2の分子は、金属錯体又はフラーレン誘導体を含む。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１の電極と、
第２の電極と、
前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられ、前記第１の電極から前記第２の電極に向かう第１の方向に延び、第１の分子と、前記第１の分子と前記第２の電極との間に設けられた第２の分子と、を含む有機分子層と、
前記第２の分子と対向する第３の電極と、
を備え、
前記第１の分子及び前記第２の分子は、金属錯体又はフラーレン誘導体を含む、有機分子メモリ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
第４の電極を更に備え、
前記第１の電極は第１の部分を更に含み、
前記第２の電極は第２の部分を更に含み、
前記第１の方向と交差する方向において、前記第１の部分と前記第４の電極との間に前記第１の分子が設けられ、
前記第１の方向と交差する方向において、前記第２の部分と前記第３の電極との間に前記第２の分子が設けられる、請求項１記載の有機分子メモリ。
【請求項３】
前記第１の分子及び前記第２の分子は、縮退したエネルギー準位を含む、請求項１記載の有機分子メモリ。
【請求項４】
前記第１の分子及び前記第２の分子は、液晶分子である、請求項１記載の有機分子メモリ。
【請求項５】
前記第１の分子及び前記第２の分子は金属錯体であり、
前記第１の分子は構成原子が第１の面を形成する第１の環状構造を有し、
前記第２の分子は構成原子が第２の面を形成する第２の環状構造を有し、
前記第１の面と前記第２の面は、前記第１の方向において対向する、請求項１記載の有機分子メモリ。
【請求項６】
前記金属錯体は、側鎖を含むダブルデッカー型錯体である、請求項１記載の有機分子メモリ。
【請求項７】
前記ダブルデッカー型錯体は、２つのフタロシアニン骨格が積層され、ランタン（Ｌａ）、セリウム（Ｃｅ）、プラセオジム（Ｐｒ）、ネオジム（Ｎｄ）、サマリウム（Ｓｍ）、ユウロピウム（Ｅｕ）、ガドリニウム（Ｇｄ）、テルビウム（Ｔｂ）、ジスプロシウム（Ｄｙ）、ホルミウム（Ｈｏ）、エルビウム（Ｅｒ）、ツリウム（Ｔｍ）、イッテルビウム（Ｙｂ）、及び、ルテチウム（Ｌｕ）からなる群から選ばれる一つの希土類元素を含む、請求項６記載の有機分子メモリ。
【請求項８】
前記側鎖は、炭素数が３以上のアルキル鎖を含む、請求項６記載の有機分子メモリ。
【請求項９】
前記金属錯体は、側鎖を含むメタロセン誘導体、側鎖を含むメタロポルフィリン誘導体、又は側鎖を含むメタロフタロシアニン誘導体であり、鉄（Ｆｅ）、銅（Ｃｕ）、コバルト（Ｃｏ）、チタン（Ｔｉ）、ニッケル（Ｎｉ）、亜鉛（Ｚｎ）、及びクロム（Ｃｒ）からなる群から選ばれる一つの金属元素を含む、請求項１記載の有機分子メモリ。
【請求項１０】
前記側鎖は、炭素数が３以上のアルキル鎖を含む、請求項９記載の有機分子メモリ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、有機分子メモリに関する。
続きを表示（約 2,300 文字）【背景技術】
【０００２】
不揮発性メモリの大容量化を実現するために、例えば、メモリセルの微細化や、メモリセルアレイの３次元構造化が進められている。不揮発性メモリの更なる大容量化の実現が望まれる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２３－８１６２７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本発明の一実施形態では、大容量化の実現が可能な有機分子メモリを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
実施形態の有機分子メモリは、第１の電極と、第２の電極と、前記第１の電極と前記第２の電極との間に設けられ、前記第１の電極から前記第２の電極に向かう第１の方向に延び、第１の分子と、前記第１の分子と前記第２の電極との間に設けられた第２の分子と、を含む有機分子層と、前記第２の分子と対向する第３の電極と、を備え、前記第１の分子及び前記第２の分子は、金属錯体又はフラーレン誘導体を含む。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１の実施形態の有機分子メモリのブロック図。
第１の実施形態の有機分子メモリのメモリセルアレイの等価回路図。
第１の実施形態の有機分子メモリの模式断面図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の説明図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の一例を示す図。
第１の実施形態の有機分子の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第１の実施形態の変形例の有機分子メモリの模式断面図。
第２の実施形態の有機分子メモリのメモリセルアレイの等価回路図。
第２の実施形態の有機分子メモリの模式断面図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
第２の実施形態の有機分子メモリの動作の説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
以下、図面を参照しつつ実施形態を説明する。なお、以下の説明では、同一又は類似の部材などには同一の符号を付し、一度説明した部材などについては適宜その説明を省略する。
【０００８】
実施形態の有機分子メモリを構成する部材の同定には、例えば、二次イオン質量分析法（ＳｅｃｏｎｄａｒｙＩｏｎＭａｓｓＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＳＩＭＳ）、エネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥｎｅｒｇｙＤｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸ－ｒａｙＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＥＤＸ）、Ｘ線回折分析（Ｘ－ｒａｙＤｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ：ＸＲＤ）、電子線回折分析（ＥｌｅｃｔｒｏｎＢｅａｍＤｉｆｆｒａｃｔｉｏｎ：ＥＢＤ）、Ｘ線光電分光分析（Ｘ－ｒａｙＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ：ＸＰＳ）、放射光Ｘ線散乱解析（ＳｙｎｃｈｒｏｔｒｏｎＲａｄｉａｔｉｏｎＸ－ｒａｙＡｂｓｏｒｐｔｉｏｎＦｉｎｅＳｔｒｕｃｔｕｒｅ：ＸＡＦＳ）、液体クロマトグラフィー法、ガスクロマトグラフィ法、又は、イオンクロマトグラフィ法を用いることが可能である。
【０００９】
また、実施形態の有機分子メモリを構成する部材の厚さ、部材間の距離等の測定には、例えば、透過型電子顕微鏡（ＴｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ：ＴＥＭ）を用いることが可能である。
【００１０】
また、有機分子の分子構造は、例えば、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）、又は、走査型トンネル顕微鏡（ＳＴＭ）を用いて同定することが可能である。
（【００１１】以降は省略されています）

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