特許ウォッチ

公開番号2025110412
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-28
出願番号2025076761,2025511419
出願日2025-05-02,2024-06-13
発明の名称プラズマ処理装置、基板処理システム及び固定具
出願人東京エレクトロン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/3065 20060101AFI20250718BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】プラズマ処理装置や基板処理システムの構成部材間の脱着を容易にする技術を提供する。
【解決手段】チャンバを備えるプラズマ処理装置が提供される。当該装置は、第1部材と、第2部材と、第1部材と第2部材とを軸方向に沿って着脱可能に固定するように構成される固定具であって、第1部材に固定されるオス型部材と、第2部材に固定されるとともに、オス型部材を受け入れるように構成されるメス型部材とを備える固定具とを含む。オス型部材は、軸方向に延び、先端において拡径する軸部材を備える。メス型部材は、第2部材に固定される収容部材と、収容部材内に配置される保持部材と、保持部材に保持される球状部材とを含む。球状部材は、保持部材が軸方向であって開口に向かう方向である第1方向に移動すると、収容部材の内壁のテーパ部分によりガイドされて径方向の内側に向かって移動するように構成される。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバを備えるプラズマ処理装置であって、
第１部材と、
第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とを軸方向に沿って着脱可能に固定するように構成される固定具であって、前記第１部材に固定されるオス型部材と、前記第２部材に固定されるとともに、前記オス型部材を受け入れるように構成されるメス型部材とを備える固定具と、を含み、
前記オス型部材は、前記軸方向に延び、先端において拡径する軸部材を備え、
前記メス型部材は、
前記第２部材に固定される収容部材と、前記収容部材内に配置される保持部材と、前記保持部材に保持される球状部材と、を含み、
前記収容部材は、前記オス型部材の前記軸部材を受け入れるための開口と、前記保持部材及び前記球状部材を収容するための収容空間とを含み、前記収容空間を規定する前記収容部材の内壁は、径方向に縮径するテーパ部分を備え、
前記保持部材は、前記球状部材を保持しながら前記収容空間内を前記軸方向に沿って移動可能に構成され、
前記球状部材は、前記保持部材が前記軸方向であって前記開口に向かう方向である第１方向に移動すると、前記内壁の前記テーパ部分によりガイドされて前記径方向の内側に向かって移動するように構成される、
プラズマ処理装置。
続きを表示（約 840 文字）【請求項２】
前記保持部材は、前記収容空間内に配置される弾性部材により前記第１方向に移動される、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記保持部材は、前記収容空間内に流入される第１流体により前記第１方向に移動される、請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記保持部材は、前記収容空間内に流入される第２流体により前記第１方向と反対方向の第２方向に移動される、請求項３に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記収容空間は、前記第１流体が流入される第１空間と、前記第２流体が流入される第２空間とを含み、前記第１空間と前記第２空間との間が、シール部材により封止される、請求項４に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記第２空間は、前記第１空間よりも前記開口側に設けられ、前記第２空間と前記開口との間がシール部材により封止される、請求項５に記載のプラズマ処理装置。
【請求項７】
前記保持部材は、シリンダ又はモータを介して、前記第１方向の力又は前記第１方向と反対方向の第２方向の力を受けるように構成される、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項８】
前記保持部材は、前記球状部材の前記径方向の内側に向かう移動を規制する係止構造をさらに備える、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項９】
前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方は、前記チャンバ内に配置される部材である、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
【請求項１０】
前記第１部材及び前記第２部材の少なくとも一方が前記チャンバを構成する部材であるか又は前記チャンバの外部に配置される部材である、請求項１から請求項７のいずれか１項に記載のプラズマ処理装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示の例示的実施形態は、プラズマ処理装置、基板処理システム及び固定具に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、静電チャックと静電チャック載置板を複数の第１の締結具によって締結し、基板を載置する載置台を複数の第２の締結具によって支持部材に締結することが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－１９７８３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、プラズマ処理装置や基板処理システムの構成部材間の脱着を容易にする技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一つの例示的実施形態において、チャンバを備えるプラズマ処理装置であって、第１部材と、第２部材と、第１部材と第２部材とを軸方向に沿って着脱可能に固定するように構成される固定具であって、第１部材に固定されるオス型部材と、第２部材に固定されるとともに、オス型部材を受け入れるように構成されるメス型部材とを備える固定具と、を含み、オス型部材は、軸方向に延び、先端において拡径する軸部材を備え、メス型部材は、第２部材に固定される収容部材と、収容部材内に配置される保持部材と、保持部材に保持される球状部材と、を含み、収容部材は、オス型部材の軸部材を受け入れるための開口と、保持部材及び球状部材を収容するための収容空間とを含み、収容空間を規定する収容部材の内壁は、径方向に縮径するテーパ部分を備え、保持部材は、球状部材を保持しながら収容空間内を軸方向に沿って移動可能に構成され、球状部材は、保持部材が軸方向であって開口に向かう方向である第１方向に移動すると、内壁のテーパ部分によりガイドされて径方向の内側に向かって移動するように構成されるプラズマ処理装置が提供される。
【発明の効果】
【０００６】
本開示の一つの例示的実施形態によれば、プラズマ処理装置や基板処理システムの構成部材間の脱着を容易にする技術を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
プラズマ処理システムの構成例を説明するための図である。
容量結合型のプラズマ処理装置の構成例を説明するための図である。
固定構造ＦＳの一例を概略的に示す図である。
球状部材の移動位置の一例を説明するための図である。
球状部材の移動位置の一例を説明するための図である。
固定具Ｆの使用方法の一例を示す図である。
保持部材の駆動機構の他の例を示す図である。
保持部材の駆動機構の他の例を示す図である。
固定具Ｆの他の例を説明するための図である。
固定具Ｆの他の例及びその動作を説明するための図である。
固定具Ｆの他の例及びその動作を説明するための図である。
基板処理システムＰＳの構成例を説明するための図である。
固定具Ｆの適用例を説明するための図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、本開示の各実施形態について説明する。
【０００９】
一つの例示的実施形態において、チャンバを備えるプラズマ処理装置であって、第１部材と、第２部材と、第１部材と第２部材とを軸方向に沿って着脱可能に固定するように構成される固定具であって、第１部材に固定されるオス型部材と、第２部材に固定されるとともに、オス型部材を受け入れるように構成されるメス型部材とを備える固定具と、を含み、オス型部材は、軸方向に延び、先端において拡径する軸部材を備え、メス型部材は、第２部材に固定される収容部材と、収容部材内に配置される保持部材と、保持部材に保持される球状部材と、を含み、収容部材は、オス型部材の軸部材を受け入れるための開口と、保持部材及び球状部材を収容するための収容空間とを含み、収容空間を規定する収容部材の内壁は、径方向に縮径するテーパ部分を備え、保持部材は、球状部材を保持しながら収容空間内を軸方向に沿って移動可能に構成され、球状部材は、保持部材が軸方向であって開口に向かう方向である第１方向に移動すると、内壁のテーパ部分によりガイドされて径方向の内側に向かって移動するように構成されるプラズマ処理装置が提供される。
【００１０】
一つの例示的実施形態において、保持部材は、収容空間内に配置される弾性部材により第１方向に移動される。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許