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公開番号2025110577
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-29
出願番号2024004479
出願日2024-01-16
発明の名称シート剥離装置およびシート剥離方法
出願人リンテック株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250722BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】積層領域における被着体側に位置する接着シート部分に確実に所定のエネルギー特有の変化を起こさせ、当該被着体から接着シートを剥離することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供すること。
【解決手段】被着体WKの外周面WK1に貼付された接着シートASを保持するシート保持手段10と、シート保持手段10で保持された接着シートASに張力を付与し、被着体WKから接着シートASを剥離する剥離手段20と、接着シートASに所定のエネルギーUVを付与するエネルギー付与手段30と、を備え、接着シートASは、所定のエネルギーUVの付与により当該所定のエネルギーUV特有の変化を起こすものとされるとともに、被着体WKに対して重ね貼りされた積層領域ASAを備え、エネルギー付与手段30は、積層領域ASAに対して他の領域によりも多くの前記所定のエネルギーUVを付与する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、
前記シート保持手段で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートに所定のエネルギーを付与するエネルギー付与手段と、を備え、
前記接着シートは、前記所定のエネルギーの付与により当該所定のエネルギー特有の変化を起こすものとされるとともに、前記被着体に対して重ね貼りされた積層領域を備え、
前記エネルギー付与手段は、前記積層領域に対して他の領域よりも多くの前記所定のエネルギーを付与することを特徴とするシート剥離装置。
続きを表示（約 380 文字）【請求項２】
前記エネルギー付与手段は、前記所定のエネルギーを前記積層領域に複数回付与することを特徴とする請求項１に記載のシート剥離装置。
【請求項３】
被着体の外周面に貼付された接着シートを保持するシート保持工程と、
前記シート保持工程で保持された前記接着シートに張力を付与し、前記被着体から前記接着シートを剥離する剥離工程と、
前記接着シートに所定のエネルギーを付与するエネルギー付与工程と、を実施し、
前記接着シートは、前記所定のエネルギーの付与により当該所定のエネルギー特有の変化を起こすものとされるとともに、前記被着体に対して重ね貼りされた積層領域を備え、
前記エネルギー付与工程では、前記積層領域に対して他の領域よりも多くの前記所定のエネルギーを付与することを特徴とするシート剥離方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、シート剥離装置およびシート剥離方法に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
被着体における環状の外周面に貼付された接着シートを当該被着体から剥離するシート剥離装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－３０８７７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に記載されたテープ剥がしシステム７０（シート剥離装置）では、ウエハＷ（被着体）の周縁部（外周面）に貼付された保護テープ２７（接着シート）に紫外線（所定のエネルギー）を照射しても、被着体に対して接着シートが重ね貼りされた領域（積層領域）が存在していると、積層領域における下側すなわち被着体側に位置する接着シート部分が硬化（所定のエネルギー特有の変化）を起こし難いという不都合を発生する。
【０００５】
本発明の目的は、積層領域における被着体側に位置する接着シート部分に確実に所定のエネルギー特有の変化を起こさせ、当該被着体から接着シートを剥離することができるシート剥離装置およびシート剥離方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、請求項に記載した構成を採用した。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、積層領域に対して他の領域よりも多くの所定のエネルギーを付与するので、積層領域における被着体側に位置する接着シート部分に確実に所定のエネルギー特有の変化を起こさせ、当該被着体から接着シートを剥離することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本発明の一実施形態に係るシート剥離装置の説明図および同装置の動作説明図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＶＤ方向から観た場合を基準とし、図を指定することなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。
【００１０】
本発明のシート剥離方法を実施するシート剥離装置ＥＡは、被着体ＷＫの外周面ＷＫ１に貼付された接着シートＡＳを保持するシート保持工程を実施するシート保持手段１０と、シート保持手段１０で保持された接着シートＡＳに張力を付与し、被着体ＷＫから接着シートＡＳを剥離する剥離工程を実施する剥離手段２０と、接着シートＡＳに所定のエネルギーとしての紫外線ＵＶを付与するエネルギー付与工程を実施するエネルギー付与手段３０とを備えている。
接着シートＡＳは、紫外線ＵＶの付与により当該紫外線ＵＶ特有の変化としての接着力低下を起こすものとされるとともに、被着体ＷＫの一方の面ＷＫ２および他方の面ＷＫ３にも回り込むように貼付され、被着体ＷＫに対して重ね貼りされた積層領域ＡＳＡを備えている。
なお、本実施形態の被着体ＷＫは、被着体中心ＷＫＣを中心とする円形形状となっており、他方の面ＷＫ３の外縁部には、環状の凸部ＣＶが設けられ、環状の凸部ＣＶを含む他方の面ＷＫ３側に紫外線ＵＶの付与により当該紫外線ＵＶ特有の変化としての接着力低下を起こすカバーシートＣＳが貼付され、当該カバーシートＣＳ上に一部が重なるようにして接着シートＡＳが貼付されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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