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公開番号2025117773
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024012671
出願日2024-01-31
発明の名称紫外線照射装置
出願人東芝ライテック株式会社
代理人個人,個人
主分類H01J 61/52 20060101AFI20250805BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】小型化と、不活性ガスによるパージの適正化を図ることができる紫外線照射装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る紫外線照射装置は、一方向に延びる凹部を有する冷却部と;前記冷却部の、前記凹部が開口する側に設けられたカバーと;前記冷却部の前記凹部と、前記カバーと、により画された空間に設けられ、前記凹部が延びる方向に延びる発光管を有し、紫外線を照射するバリア放電ランプと;を具備している。前記発光管が延びる方向と直交する方向において、前記カバーの、前記発光管と対向する面は、前記発光管から離れる方向に突出する曲面となっている。前記冷却部の前記凹部と、前記カバーと、により画された前記空間には、不活性ガスが供給される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
一方向に延びる凹部を有する冷却部と；
前記冷却部の、前記凹部が開口する側に設けられたカバーと；
前記冷却部の前記凹部と、前記カバーと、により画された空間に設けられ、前記凹部が延びる方向に延びる発光管を有し、紫外線を照射するバリア放電ランプと；
を具備し、
前記発光管が延びる方向と直交する方向において、前記カバーの、前記発光管と対向する面は、前記発光管から離れる方向に突出する曲面となっており、
前記冷却部の前記凹部と、前記カバーと、により画された前記空間には、不活性ガスが供給される紫外線照射装置。
続きを表示（約 110 文字）【請求項２】
前記カバーの前記面の曲率円の中心は、前記発光管の中心軸と重なっている請求項１記載の紫外線照射装置。
【請求項３】
前記カバーの形態は、円筒の一部である請求項１または２に記載の紫外線照射装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、紫外線照射装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
紫外線を照射するバリア放電ランプを備えた紫外線照射装置がある。バリア放電ランプを備えた紫外線照射装置は、例えば、対象物の表面に付着した有機物の除去（光洗浄処理）、表面改質、酸化膜の形成などの表面処理に用いられている。バリア放電ランプは、例えば、発光管の内部に設けられた内部電極と、発光管の外部に設けられた外部電極とを有している。内部電極と、外部電極とに交流電圧を印加すると、誘電体バリア放電が生じて、発光管の内部に封入されたガスの種類に応じて特定の波長を有する紫外線が照射される。
【０００３】
ここで、前述した様に、バリア放電ランプの外部電極は、発光管の外部に設けらる。この場合、外部電極は、発光管に接触させるようにして設けられる。しかしながら、外部電極と、発光管との間に隙間が生じる場合がある。外部電極と、発光管との間に隙間があると、隙間において気中放電が生じ、隙間にある空気（窒素と酸素の混合気）から窒素酸化物が生成される場合がある。窒素酸化物が生成されると、雰囲気にある水分と、窒素酸化物とが反応して硝酸塩が生成される場合がある。硝酸塩が生成されると、硝酸塩が対象物の表面に付着したり、隙間に硝酸塩が堆積して、発光管が破損したりするおそれがある。
【０００４】
そのため、バリア放電ランプを容器の内部に収納し、容器の内部に窒素ガスなどの不活性ガスを充填する技術が提案されている。
【０００５】
ところが、単に、バリア放電ランプを容器の内部に収納すると、紫外線照射装置が大型化したり、不活性ガスの消費量が増大したりするという新たな課題が生じる。また、容器の角部などに、不活性ガスが流れにくい領域が生じて、容器の内部の空気を不活性ガスに置換する時間が長くなるという課題もある。
そこで、小型化と、不活性ガスによるパージの適正化を図ることができる紫外線照射装置の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００９－７２６４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、小型化と、不活性ガスによるパージの適正化を図ることができる紫外線照射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
実施形態に係る紫外線照射装置は、一方向に延びる凹部を有する冷却部と；前記冷却部の、前記凹部が開口する側に設けられたカバーと；前記冷却部の前記凹部と、前記カバーと、により画された空間に設けられ、前記凹部が延びる方向に延びる発光管を有し、紫外線を照射するバリア放電ランプと；を具備している。前記発光管が延びる方向と直交する方向において、前記カバーの、前記発光管と対向する面は、前記発光管から離れる方向に突出する曲面となっている。前記冷却部の前記凹部と、前記カバーと、により画された前記空間には、不活性ガスが供給される。
【発明の効果】
【０００９】
本発明の実施形態によれば、小型化と、不活性ガスによるパージの適正化を図ることができる紫外線照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１０】
本実施の形態に係る紫外線照射装置を例示するための模式側面図である。
図１における紫外線照射装置のＡ－Ａ線断面図である。
バリア放電ランプを例示するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
（【００１１】以降は省略されています）

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