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公開番号2025120760
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-18
出願番号2024015832
出願日2024-02-05
発明の名称半導体モジュール
出願人富士電機株式会社
代理人弁理士法人RYUKA国際特許事務所
主分類H01L 25/07 20060101AFI20250808BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】半導体モジュールにおいて、寄生インダクタンスを低減する。
【解決手段】半導体モジュール100は、内部配線に用いられる導電性パターン30と導電性パターンと並列に設けられた1または複数のワイヤ部50と、を備え、導電性パターンは、予め定められた幅を有する配線領域32と1または複数のワイヤ部と並列に設けられた並列領域35と、を有する並列領域は、1または複数のワイヤ部の両端がそれぞれ連結される一対の連結領域33と、一対の連結領域の間に設けられ、配線領域及び前記一対の連結領域よりも幅の狭い狭小領域34とを含む。
【選択図】図1C
特許請求の範囲【請求項1】
半導体モジュールの内部配線に用いられる導電性パターンと、
前記導電性パターンと並列に設けられた1または複数のワイヤ部と、
を備え、
前記導電性パターンは、
予め定められた幅を有する配線領域と
前記1または複数のワイヤ部と並列に設けられた並列領域と、
を有し、
前記並列領域は、
前記1または複数のワイヤ部の両端がそれぞれ連結される一対の連結領域と、
前記一対の連結領域の間に設けられ、前記配線領域および前記一対の連結領域よりも幅の狭い狭小領域と
を含む、半導体モジュール。
続きを表示(約 970 文字)【請求項2】
前記導電性パターンの幅方向において、前記狭小領域の幅は、前記配線領域の幅の15%以上、50%以下である
請求項1に記載の半導体モジュール。
【請求項3】
前記1または複数のワイヤ部を流れる電流は、前記並列領域を流れる電流の25%以上、50%以下である
請求項1に記載の半導体モジュール。
【請求項4】
前記導電性パターンは、複数の前記並列領域を有する
請求項1に記載の半導体モジュール。
【請求項5】
前記複数の並列領域は、前記導電性パターンにおいて直列に配置される
請求項4に記載の半導体モジュール。
【請求項6】
前記導電性パターンの延伸方向において、前記1または複数のワイヤ部の長さは、3mm以上、8mm以下である
請求項1に記載の半導体モジュール。
【請求項7】
前記1または複数のワイヤ部は、
複数のボンディングワイヤと、
前記複数のボンディングワイヤの端部に設けられ、前記複数のボンディングワイヤと接続される複数のボンディング部と
を含み、
前記複数のボンディング部は、前記配線領域の幅方向において、予め定められた間隔で前記配線領域の一端から他端まで設けられる
請求項1から6のいずれか一項に記載の半導体モジュール。
【請求項8】
前記複数のボンディング部の前記予め定められた間隔は、前記複数のボンディングワイヤのそれぞれのボンディングワイヤの直径よりも小さい
請求項7に記載の半導体モジュール。
【請求項9】
前記配線領域の幅方向において、前記複数のボンディング部のうち、前記配線領域の最も端部側に配置されたボンディング部と、前記配線領域の端部との間隔は、前記複数のボンディングワイヤのそれぞれのボンディングワイヤの直径よりも小さい
請求項7に記載の半導体モジュール。
【請求項10】
前記複数のボンディングワイヤのそれぞれのボンディングワイヤの直径は、300μm以上、600μm以下である
請求項7に記載の半導体モジュール。
(【請求項11】以降は省略されています)

発明の詳細な説明【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体モジュールに関する。
続きを表示(約 1,200 文字)【背景技術】
【0002】
特許文献1、特許文献2、特許文献3および特許文献4には、回路パターンの上方に配線部材を設けることが開示されている。また、特許文献5には、「グランド線23の延長方向に沿って、細長い導電体24を重ねて形成」することが記載されている。
[先行技術文献]
[特許文献]
[特許文献1] 国際公開第2021-002132号
[特許文献2] 特開2010-251551号公報
[特許文献3] 特開2001-85611号公報
[特許文献4] 特開平6-338668号公報
[特許文献5] 特開2014-175613号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0003】
半導体モジュールにおいて、寄生インダクタンスを低減することが望ましい。
【課題を解決するための手段】
【0004】
本発明の第1の態様においては、半導体モジュールの内部配線に用いられる導電性パターンと、前記導電性パターンと並列に設けられた1または複数のワイヤ部と、を備え、前記導電性パターンは、予め定められた幅を有する配線領域と前記1または複数のワイヤ部と並列に設けられた並列領域と、を有する、半導体モジュールを提供する。前記並列領域は、前記1または複数のワイヤ部の両端がそれぞれ連結される一対の連結領域と、前記一対の連結領域の間に設けられ、前記配線領域および前記一対の連結領域よりも幅の狭い狭小領域とを含んでよい。
【0005】
上記半導体モジュールにおける、前記導電性パターンの幅方向において、前記狭小領域の幅は、前記配線領域の幅の15%以上、50%以下であってよい。
【0006】
上記いずれかの半導体モジュールにおいて、前記1または複数のワイヤ部を流れる電流は、前記並列領域を流れる電流の25%以上、50%以下であってよい。
【0007】
上記いずれかの半導体モジュールにおいて、前記導電性パターンは、複数の前記並列領域を有してよい。
【0008】
上記いずれかの半導体モジュールにおいて、前記複数の並列領域は、前記導電性パターンにおいて直列に配置されてよい。
【0009】
上記いずれかの半導体モジュールにおける、前記導電性パターンの延伸方向において、前記1または複数のワイヤ部の長さは、3mm以上、8mm以下であってよい。
【0010】
上記いずれかの半導体モジュールにおいて、前記1または複数のワイヤ部は、複数のボンディングワイヤと、前記複数のボンディングワイヤの端部に設けられ、前記複数のボンディングワイヤと接続される複数のボンディング部とを含んでよい。前記複数のボンディング部は、前記配線領域の幅方向において、予め定められた間隔で前記配線領域の一端から他端まで設けられてよい。
(【0011】以降は省略されています)

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