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公開番号2025115570
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-07
出願番号2024010087
出願日2024-01-26
発明の名称位置合わせ装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人弁理士法人あい特許事務所,個人
主分類H01L 21/68 20060101AFI20250731BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】第1部材と第2部材とを精度良く位置合わせすることが可能な位置合わせ装置を提供する。
【解決手段】基板接合装置1(位置合わせ装置)は、第1基板ホルダー10と、第2基板ホルダー20と、第2移動アクチュエータ200と、撮像部50と、制御部91とを備える。第2移動アクチュエータ200は、水平方向に、第1基板ホルダー10および第2基板ホルダー20の一方を移動させる。撮像部50は、第1基板ホルダー10の第1形成領域R1を介して第2基板ホルダー20の第2マークM2を撮像する。制御部91は、撮像部50の撮像結果に基づいて、第1マークM1と第2マークM2とが所定の位置関係になるように、第2移動アクチュエータ200を制御する。第1形成領域R1および第2形成領域R2の少なくとも一方は、撮像部50の視野よりも広い。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１マークが形成された第１部材と、
前記第１部材に対向して配置され、第２マークが形成された第２部材と、
前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向に対して交差する方向に、前記第１部材および前記第２部材の一方を移動させる移動アクチュエータと、
前記第１マークおよび前記第２マークを撮像するマーク撮像部と、
前記移動アクチュエータを制御する制御部と
を備え、
前記第１部材は、１つ以上の前記第１マークが形成された第１形成領域を有し、
前記第２部材は、１つ以上の前記第２マークが形成された第２形成領域を有し、
前記マーク撮像部は、前記第１部材の前記第１形成領域を介して前記第２部材の前記第２マークを撮像し、
前記制御部は、前記マーク撮像部の撮像結果に基づいて、前記第１マークと前記第２マークとが所定の位置関係になるように、前記移動アクチュエータを制御し、
前記第１形成領域および前記第２形成領域の少なくとも一方は、前記マーク撮像部の視野よりも広く、
前記第１形成領域および前記第２形成領域の前記少なくとも一方のマークは、座標情報を含む、位置合わせ装置。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記少なくとも一方のマークは、中心部に配置される主マークと、前記主マークの周囲に配置される複数の副マークとを有する、請求項１に記載の位置合わせ装置。
【請求項３】
前記主マークと前記副マークとは、形状、サイズおよび間隔の少なくとも１つが異なる、請求項２に記載の位置合わせ装置。
【請求項４】
前記副マークは、前記中心部から遠ざかるにしたがって、隣接する前記副マーク同士の間隔、および、前記副マークのサイズの少なくとも一方が大きくなるように、形成されている、請求項２または請求項３に記載の位置合わせ装置。
【請求項５】
前記副マークは、前記中心部からの距離に応じて異なる形状を有する、請求項２または請求項３に記載の位置合わせ装置。
【請求項６】
前記マーク撮像部は、前記第１部材に固定され、
前記移動アクチュエータは、前記第２部材を移動させ、
前記第２形成領域は、前記マーク撮像部の視野よりも広く、
前記第２マークは、前記座標情報を含む、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の位置合わせ装置。
【請求項７】
第１撮像部および第２撮像部をさらに備え、
前記第１部材は、第１基板マークが形成された第１基板を保持する第１チャックを有し、
前記第２部材は、第２基板マークが形成された第２基板を保持する第２チャックを有し、
前記第１撮像部は、前記第１マークおよび前記第１基板マークを撮像し、
前記第２撮像部は、前記第２マークおよび前記第２基板マークを撮像し、
前記制御部は、
前記第１撮像部の撮像結果に基づいて、前記第１マークと前記第１基板マークとの間の第１位置関係を算出し、
前記第２撮像部の撮像結果に基づいて、前記第２マークと前記第２基板マークとの間の第２位置関係を算出し、
前記第１位置関係および前記第２位置関係に基づいて、前記所定の位置関係を算出する、請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の位置合わせ装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、位置合わせ装置に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、第１基板を保持する第１部材と、第１部材に対向して配置され、第２基板を保持する第２部材と、第２部材を移動させるアクチュエータと、第１部材に設けられた第１アライメントマークおよび第２部材に設けられた第２アライメントマークを撮像する撮像部とを備え、第１部材と第２部材とを位置合わせした後に、第１基板と第２基板とを貼り合わせる装置が知られている。このような装置として、例えば特許文献１には、第１アライメントマークが形成された第１板状体を保持する第１保持手段と、第２アライメントマークが形成された光透過性を有する第２板状体を保持する第２保持手段と、第２板状体に対して第１板状体とは反対側に配置され、第１板状体および第２板状体を撮像する撮像手段とを備えた装置が記載されている。この装置では、撮像手段は、第１アライメントマークと第２アライメントマークとを同一視野で撮像する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１４－１６５３３１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ところで、例えば、２枚の基板を貼り合わせる基板貼り合わせ装置では、２枚の基板同士を電気的に接続するので、２枚の基板を高精度に位置合わせすることが求められる。２枚の基板を高精度に位置合わせする場合、撮像部の拡大倍率を大きくする必要がある。このため、撮像部の視野が狭くなる。
【０００５】
しかしながら、撮像部の視野が狭くなると、同一視野内に第１アライメントマークおよび第２アライメントマークの両方が入らなくなる場合がある。この場合、２枚の基板を精度良く位置合わせすることが困難である。
【０００６】
本発明は上記課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、第１部材と第２部材とを精度良く位置合わせすることが可能な位置合わせ装置を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の一局面によれば、位置合わせ装置は、第１部材と、第２部材と、移動アクチュエータと、マーク撮像部と、制御部とを備える。前記第１部材には、第１マークが形成されている。前記第２部材は、前記第１部材に対向して配置される。前記第２部材には、第２マークが形成されている。前記移動アクチュエータは、前記第１部材と前記第２部材とが対向する方向に対して交差する方向に、前記第１部材および前記第２部材の一方を移動させる。前記マーク撮像部は、前記第１マークおよび前記第２マークを撮像する。前記制御部は、前記移動アクチュエータを制御する。前記第１部材は、１つ以上の前記第１マークが形成された第１形成領域を有する。前記第２部材は、１つ以上の前記第２マークが形成された第２形成領域を有する。前記マーク撮像部は、前記第１部材の前記第１形成領域を介して前記第２部材の前記第２マークを撮像する。前記制御部は、前記マーク撮像部の撮像結果に基づいて、前記第１マークと前記第２マークとが所定の位置関係になるように、前記移動アクチュエータを制御する。前記第１形成領域および前記第２形成領域の少なくとも一方は、前記マーク撮像部の視野よりも広い。前記第１形成領域および前記第２形成領域の前記少なくとも一方のマークは、座標情報を含む。
【０００８】
ある実施形態では、前記少なくとも一方のマークは、中心部に配置される主マークと、前記主マークの周囲に配置される複数の副マークとを有する。
【０００９】
ある実施形態では、前記主マークと前記副マークとは、形状、サイズおよび間隔の少なくとも１つが異なる。
【００１０】
ある実施形態では、前記副マークは、前記中心部から遠ざかるにしたがって、隣接する前記副マーク同士の間隔、および、前記副マークのサイズの少なくとも一方が大きくなるように、形成されている。
（【００１１】以降は省略されています）

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