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公開番号2025132784
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-10
出願番号2024030574
出願日2024-02-29
発明の名称剥離剤組成物中のアミン及び/又は炭酸の濃度の測定方法
出願人花王株式会社
代理人弁理士法人池内アンドパートナーズ
主分類G03F 7/42 20060101AFI20250903BHJP(写真;映画;光波以外の波を使用する類似技術;電子写真;ホログラフイ)
要約【課題】一態様において剥離剤組成物中のアミン及び/炭酸の濃度測定の正確性を向上できる測定方法を提供する。
【解決手段】本開示は、剥離剤組成物中のアミン及び/又は炭酸の濃度の測定方法であって、前記剥離剤組成物は、樹脂マスクを剥離するためのものであり、アミンを含有し、アミン以外のアルカリ及び/又は炭酸を含有しうるものであり、前記剥離剤組成物を酸で滴定することを含み、前記滴定で得られる滴定曲線がpH10以下で第1変曲点、第2変曲点及び第3変曲点を有する場合、第1変曲点、第2変曲点及び第3変曲点までの酸消費量と、前記アミン以外のアルカリを含む場合には前記アルカリの濃度とから、剥離剤組成物中のアミン及び/又は炭酸の濃度を算出することを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法であって、
前記剥離剤組成物は、樹脂マスクを剥離するためのものであり、アミンを含有し、アミン以外のアルカリ及び／又は炭酸を含有しうるものであり、
前記剥離剤組成物を酸で滴定することを含み、
前記滴定で得られる滴定曲線がｐＨ１０以下で第１変曲点、第２変曲点及び第３変曲点を有する場合、第１変曲点、第２変曲点及び第３変曲点までの酸消費量と、前記アミン以外のアルカリを含む場合には前記アルカリの濃度とから、剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度を算出することを含む、
剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
前記剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度は下記式を用いて算出する、請求項１に記載の剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法。
アミン濃度（質量％）＝（（Ａ－Ｄ×β）＋（Ｂ－Ｄ×β））／２／α×Ｍ×１００
炭酸濃度（ｍｏｌ／Ｌ）＝（Ｃ－Ｄ×β－（（Ａ－Ｄ×β）＋（Ｂ－Ｄ×β））／２）×１０００
上記式中、Ａは前記第１変曲点までの前記剥離剤組成物１ｇ当たりの酸消費モル数（ｍｏｌ／ｇ）を示し、Ｂは前記第２変曲点までの前記剥離剤組成物１ｇ当たりの酸消費モル数（ｍｏｌ／ｇ）を示し、Ｃは前記第３変曲点までの前記剥離剤組成物１ｇ当たりの酸消費モル数（ｍｏｌ／ｇ）を示し、Ｄは前記剥離剤組成物中の前記アミン以外のアルカリの濃度（ｍｏｌ／ｇ）を示し、αは前記アミンの価数を示し、βは前記アミン以外のアルカリの価数を示し、Ｍはアミンのモル質量（ｇ／ｍｏｌ）を示す。
【請求項３】
前記剥離剤組成物を酸で滴定する前に、前記剥離剤組成物を水系溶媒で希釈することを含む、請求項１に記載の剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法。
【請求項４】
前記剥離剤組成物のｐＨが１０以上１４以下である、請求項１に記載の剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法。
【請求項５】
前記剥離剤組成物中のアミン濃度が、１質量％以上２０質量％以下である、請求項１に記載の剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法。
【請求項６】
前記剥離剤組成物中の前記アミン以外のアルカリ濃度が、１質量％以上２０質量％以下である、請求項１に記載の剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法。
【請求項７】
請求項１から６のいずれかに記載の剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法を用いて、樹脂マスクを剥離する工程に用いる剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定する工程を含む、電子部品の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、樹脂マスクを剥離するための剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法及びこれを用いる電子部品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、パーソナルコンピュータや各種電子デバイスにおいては、低消費電力化、処理速度の高速化、小型化が進み、これらに搭載されるパッケージ基板などの配線は年々微細化が進んでいる。このような微細配線並びにピラーやバンプといった接続端子形成にはこれまでメタルマスク法が主に用いられてきたが、汎用性が低いことや配線等の微細化への対応が困難になってきたことから、他の新たな方法へと変わりつつある。
【０００３】
新たな方法の一つとして、ドライフィルムレジストをメタルマスクに代えて厚膜樹脂マスクとして使用する方法が知られている。この樹脂マスクは最終的に剥離・除去されるが、その際にアルカリ性の剥離剤組成物（剥離用洗浄剤）が使用される。
【０００４】
アルカリ性の剥離剤組成物としては、アルカリ、有機溶剤などの混合溶液が用いられている。このような剥離剤組成物は、レジストの溶解や、空気中の炭酸ガスとの反応等によって劣化が進行し、剥離性能（樹脂マスク除去性）が低下することが報告されている。そのため、剥離剤組成物の劣化を抑制して長寿命化する方法が各種検討されている。
例えば、特許文献１では、レジスト剥離液に吸収される炭酸ガスがレジスト剥離性を低下させる主要因であることを見出し、レジスト剥離液中の炭酸ガス濃度を３重量％以下に維持するレジスト剥離液の管理方法が提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２００３－１２２０２９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
特許文献１では、レジスト剥離液中の炭酸ガス濃度の測定方法として、導電率計で計測する方法、赤外線吸収又は赤外線センサーで計測する方法が好ましく挙げられているが、特許文献１で提案されている測定方法では、炭酸濃度の測定精度に改善の余地があった。
また、剥離剤組成物を循環使用する場合、剥離剤組成物中のアルカリ成分や剥離剤組成物に存在する炭酸濃度が変化していくため、濃度分析結果に応じて剥離剤組成物を補充したり交換したりする必要がある。そのため、剥離剤組成物の濃度分析をより正確に行う測定方法が求められる。
【０００７】
そこで、本開示は、剥離剤組成物中のアミン及び／炭酸の濃度測定の正確性を向上できる測定方法及びこれを用いた電子部品の製造方法を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示は、一態様において、剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法であって、前記剥離剤組成物は、樹脂マスクを剥離するためのものであり、アミンを含有し、アミン以外のアルカリ及び／又は炭酸を含有しうるものであり、前記剥離剤組成物を酸で滴定することを含み、前記滴定で得られる滴定曲線がｐＨ１０以下で第１変曲点、第２変曲点及び第３変曲点を有する場合、第１変曲点、第２変曲点及び第３変曲点までの酸消費量と、前記アミン以外のアルカリを含む場合には前記アルカリの濃度とから、剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度を算出することを含む、剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法に関する。
【０００９】
本開示は、一態様において、本開示の剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定方法を用いて、樹脂マスクを剥離する工程に用いる剥離剤組成物中のアミン及び／又は炭酸の濃度の測定する工程を含む、電子部品の製造方法に関する。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、一態様において、剥離剤組成物中のアミン及び／炭酸の濃度測定の正確性を向上できる測定方法を提供できる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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