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公開番号2025115749
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-07
出願番号2024010369
出願日2024-01-26
発明の名称フレームの保持状態の検出方法及び処理装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250731BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】フレームの保持状態の検出方法を提供する。
【解決手段】保持機構が該フレームの一部を挟持して保持するように該保持機構を作動させる保持機構作動ステップと、光を照射する照射部と、光を受光する受光部と、を有する測定ユニットの該照射部から該保持機構に対して該光を照射する光照射ステップと、該照射部から該保持機構に照射した該光の反射光を該受光部により受光し、受光量を測定するする受光ステップと、該受光量が閾値により規定される範囲にあるか否かを判定することにより、該保持状態を判定する判定ステップと、を有する。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
環状のフレームを挟持して保持する保持機構により該フレームが保持される際の保持状態を検出するフレームの保持状態の検出方法であって、
該保持機構が該フレームの一部を挟持して保持するように該保持機構を作動させる保持機構作動ステップと、
光を照射する照射部と、該光を受光する受光部と、を有する測定ユニットの該照射部から該保持機構に対して該光を照射する光照射ステップと、
該照射部から該保持機構に照射した該光の反射光を該受光部により受光し、受光量を測定するする受光ステップと、
該受光量が閾値により規定される範囲にあるか否かを判定することにより、該保持状態を判定する判定ステップと、を有するフレームの保持状態の検出方法。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
該フレームは、表面と、該表面と反対側の裏面と、を有し、
該保持機構は、該表面に接触する第１部材と、該裏面に接触する第２部材と、を有し、該第１部材及び該第２部材で該フレームを挟持でき、
該保持機構作動ステップは、該第２部材が該裏面に接触するように該フレームが該第２部材に載置される第１ステップと、該第１部材が該表面に接触するように該第１部材が該表面に配置される第２ステップと、を有し、
該光照射ステップでは、該照射部が該保持機構の該第１部材に対して該光を照射する請求項１に記載のフレームの保持状態の検出方法。
【請求項３】
該保持機構作動ステップでは、該フレームの周方向に沿って配置された複数個の該保持機構が該フレームをそれぞれ挟持するように、該保持機構が該フレームに接触する請求項１又は請求項２に記載のフレームの保持状態の検出方法。
【請求項４】
該光照射ステップより前に、該保持機構と、該測定ユニットと、の該周方向に沿った相対的な回転移動を開始する回転移動開始ステップを更に有し、
該光照射ステップでは、該照射部が複数個の該保持機構のそれぞれに対して該光を順次照射し、
該受光ステップでは、該受光部が複数個の該保持機構のそれぞれにより反射されて生じた該反射光を順次受光し、該反射光の該受光量を順次測定し、
該判定ステップでは、それぞれの該保持機構による該フレームの該保持状態を個々に判定する請求項３に記載のフレームの保持状態の検出方法。
【請求項５】
環状のフレームの開口部を塞ぐように貼られたフィルムを介して該フレームにより支持された被処理物を処理する処理装置であって、
該フレームの一部を挟持して該フレームを保持する保持機構と、
該保持機構で保持された該フレームにより支持された該被処理物を処理する処理ユニットと、
該保持機構に対して光を照射する照射部と、該照射部から該保持機構に照射した該光の反射光を受光し受光量を測定する受光部と、を有する測定ユニットと、
該保持機構と、該測定ユニットと、を、該フレームの周方向に沿って相対的に回転移動させる回転移動機構と、
該保持機構と、該測定ユニットと、該回転移動機構と、を制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、該測定ユニットの該照射部から照射され該保持機構で反射され該測定ユニットの該受光部で受光された該光の該受光量が閾値により定められる範囲にあるか否かに基づいて該保持機構による該フレームの保持状態を判定する判定部を有する処理装置。
【請求項６】
該保持機構は、該フレームの表面に接触する第１部材と、該フレームの該表面と反対側の裏面に接触する第２部材と、を有し、該第１部材と、該第２部材と、により、該フレームを挟持し、
該照射部は、該第１部材に該光を照射する請求項５に記載の処理装置。
【請求項７】
該フレームの該周方向に沿って配置された複数個の該保持機構により該フレームをそれぞれ挟持するように該フレームを保持する請求項５又は請求項６に記載の処理装置。
【請求項８】
該コントローラは、該保持機構と、該測定ユニットと、を該回転移動機構により該周方向に沿って相対的に回転移動させつつ複数個の該保持機構のそれぞれに対して該照射部から該光を順次照射し、複数個の該保持機構のそれぞれにより該光が反射されて生じた該反射光を該受光部により順次受光し、該反射光の該受光量を順次測定し、それぞれの該保持機構による該フレームの該保持状態を個々に判定する請求項７に記載の処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、保持機構によるフレームの保持状態の検出方法及び処理装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話機やＰＣ（Personal Computer）等の電子機器に利用されるデバイスチップの製造工程においては、例えば、シリコンからなるウェーハが用いられる。ウェーハには種々の処理装置（切削装置及びレーザー加工装置等の加工装置や洗浄装置）等により種々の処理が施され、ウェーハからデバイスチップが製造される。
【０００３】
処理装置によりウェーハが処理される際には、ウェーハの取り扱い（搬送、保持等）の便宜のため、ウェーハがフレームにより支持される。フレームは、例えば、ＳＵＳ（ステンレス鋼）等の金属でなる環状の部材であり、フレームの中央部には、フレームを厚さ方向に貫通する円形の開口部が設けられている。
【０００４】
フレームの開口を塞ぐように、フレーム側にフィルムが設けられる。そして、フレームの開口部の内側に露出したフィルム上にウェーハが設置され、ウェーハと、フィルムと、フレームと、が一体となったフレームユニットが形成される。処理装置は、フレームユニット（ウェーハ）を支持するテーブルと、テーブルにフレームユニット（ウェーハ）を固定する保持機構と、ウェーハを処理する処理ユニットと、を備える。ウェーハは、このフレームユニットごと処理装置に搬入され、処理装置により処理される。
【０００５】
例えば、ウェーハが洗浄装置により洗浄される際には、ウェーハを含むフレームユニットがテーブルに配置され、洗浄装置が備える保持機構によりフレームが保持されることにより、フレームユニットがテーブルに固定される。保持機構は、クランプ等からなり、フレームの一部を挟持するように保持する。フレームユニットが保持機構によりテーブルに固定された状態で、洗浄装置が備える回転駆動機構によりテーブルが回転することにより、フレームユニットが回転する。この状態で、フレームユニットの上方に配置された洗浄機構（処理ユニット）のノズルからウェーハに向けて洗浄液が供給される。これにより、ウェーハが洗浄される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２３－１１５４３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
しかしながら、種々の原因により、保持機構がフレームを正常に保持できない場合がある。例えば、フレームユニットを搬送する際の搬送作業のばらつきによるテーブルに載置されるフレームユニットの位置のずれや、複数個の保持部材がフレームを保持する際の作動タイミングのずれにより、保持機構がフレームを正常に挟持できない場合がある。また、保持機構の故障等により、保持機構がフレームを正常に挟持できない場合もある。
【０００８】
フレームが保持機構により正常に保持されていない状態でテーブルの回転が開始されると、フレームユニットの回転中にフレームユニットが飛んでしまい、ウェーハや洗浄機構が破損するおそれがある。このため、フレームユニットが処理装置に搬入されて保持機構によりテーブルに固定される際に、フレームが保持機構により正常に保持されたか否かを検出する必要がある。
【０００９】
本発明の目的は、上記事情に鑑み、保持機構によるフレームの保持状態を検出することが可能なフレームの保持状態の検出方法及び処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明の一側面によれば、環状のフレームを挟持して保持する保持機構により該フレームが保持される際の保持状態を検出するフレームの保持状態の検出方法であって、該保持機構が該フレームの一部を挟持して保持するように該保持機構を作動させる保持機構作動ステップと、光を照射する照射部と、該光を受光する受光部と、を有する測定ユニットの該照射部から該保持機構に対して該光を照射する光照射ステップと、該照射部から該保持機構に照射した該光の反射光を該受光部により受光し、受光量を測定するする受光ステップと、該受光量が閾値により規定される範囲にあるか否かを判定することにより、該保持状態を判定する判定ステップと、を有するフレームの保持状態の検出方法が提供される。
（【００１１】以降は省略されています）

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