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公開番号2025128520
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-03
出願番号2024025224
出願日2024-02-22
発明の名称保持面の形成方法及び研削装置
出願人株式会社ディスコ
代理人インフォート弁理士法人
主分類B24B 41/06 20120101AFI20250827BHJP(研削;研磨)
要約【課題】セルフグラインドにてポーラス部材の外周部にリング状の凹みが形成されることを防止すること。
【解決手段】本発明は、環状の第1研削砥石(80)を装着する第1スピンドル(76)、環状の第2研削砥石(90)を装着する第2スピンドル(86)を回転させ、ポーラス部材(42)とポーラス部材の外周を囲む枠体(43)とで構成されたチャックテーブル(14)の上面を、回転する各研削砥石で研削してウェーハ(W)を吸引保持する保持面(421)を形成する。第1スピンドルの軸心(C21)に対し、チャックテーブルの軸心(C1)を第1角度(θ1)に相対的に傾け、第1研削砥石で枠体の上面全面を研削する第1研削工程と、第2スピンドルの軸心(C22)に対し、チャックテーブルの軸心を第1角度よりも小さい第2角度(θ2)に相対的に傾け、第2研削砥石でポーラス部材の上面全面を研削する第2研削工程とを行う。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
環状の研削砥石を装着するスピンドルを回転させ、ポーラス部材と該ポーラス部材の外周を囲む環状の緻密体の枠体とで構成されたチャックテーブルの上面を、回転する該研削砥石で研削してウェーハを吸引保持する保持面を形成する保持面の形成方法であって、
該スピンドルの軸心に対し、該チャックテーブルの軸心を所定の第１角度に相対的に傾け、研削砥石で該枠体の上面全面を研削する第１研削工程と、
該スピンドルの軸心に対し、該チャックテーブルの軸心を該第１角度よりも小さい第２角度に相対的に傾け、研削砥石で該ポーラス部材の上面全面を研削する第２研削工程と、からなる保持面の形成方法。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
該第２研削工程では、該第１研削工程で用いた研削砥石の砥粒径より小さい砥粒径の研削砥石を用いる、請求項１記載の保持面の形成方法。
【請求項３】
請求項１記載の保持面の形成方法を実施する研削装置であって、
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるテーブルスピンドルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハをスピンドルに装着した研削砥石で研削する研削ユニットと、
該テーブルスピンドルと該スピンドルとの相対傾きを第１角度と、該第１角度よりも小さい第２角度とに調整する傾き調整機構と、
該研削砥石で該枠体を研削する際には該第１角度にし、該研削砥石で該ポーラス部材を研削する際には第２角度にする制御部と、を備える、研削装置。
【請求項４】
請求項２記載の保持面の形成方法を実施する研削装置であって、
ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるテーブルスピンドルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを第１スピンドルに装着した第１研削砥石で研削する第１研削ユニットと、該チャックテーブルに保持されたウェーハを第２スピンドルに装着した該第１研削砥石の砥粒径よりも小さい砥粒径の第２研削砥石で研削する第２研削ユニットと、
該テーブルスピンドルと該第１スピンドルとの相対傾きを第１角度にし、該テーブルスピンドルと該第２スピンドルとの相対傾きを該第１角度よりも小さい第２角度にする傾き調整機構と、
該第１研削砥石で該枠体を研削する際には第１角度にし、該第２研削砥石で該ポーラス部材を研削する際には第２角度にする制御部と、を備える、研削装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ウェーハを保持する保持面の形成方法及び研削装置に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、研削装置における円錐状のチャックテーブルに保持されたウェーハの半径部分において環状砥石の下面で研削する研削方法を開示している。また、特許文献２の研削装置においては、研削ホイールやチャックテーブルを交換した後等にて、チャックテーブルの上面を研削ホイールで研削し、研削ホイールの研削面とチャックテーブルの保持面とを平行に形成するいわゆるセルフグラインドを実施している。チャックテーブルは、保持面を形成するポーラス部材と、ポーラス材を囲む環状をなす緻密体の枠体とから構成されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１１４５７３号公報
特開２０１４－２３７２１０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述のチャックテーブルを構成するポーラス部材と枠体とでは硬度が異なるので、セルフグラインドを実施すると、枠体に比べてポーラス部材の研削が進行し易くなる。よって、セルフグラインドの実施後、ポーラス材と枠体との境界部分となるポーラス部材の外周部にリング状の凹みが形成される、という問題がある。このため、チャックテーブルで保持された研削後のウェーハにて、凹みの形成位置に対応する外周部分が僅かであるがリング状の凸形状になる、という問題がある。
【０００５】
本発明はかかる点に鑑みてなされたものであり、チャックテーブルのセルフグラインドにて、ポーラス部材の外周部にリング状の凹みが形成されることを防止することができる保持面の形成方法及び研削装置を提供することを目的の一つとする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の一態様の保持面の形成方法は、環状の研削砥石を装着するスピンドルを回転させ、ポーラス部材と該ポーラス部材の外周を囲む環状の緻密体の枠体とで構成されたチャックテーブルの上面を、回転する該研削砥石で研削してウェーハを吸引保持する保持面を形成する保持面の形成方法であって、該スピンドルの軸心に対し、該チャックテーブルの軸心を所定の第１角度に相対的に傾け、研削砥石で該枠体の上面全面を研削する第１研削工程と、該スピンドルの軸心に対し、該チャックテーブルの軸心を該第１角度よりも小さい第２角度に相対的に傾け、研削砥石で該ポーラス部材の上面全面を研削する第２研削工程と、からなる。
【０００７】
本発明の一態様の研削装置は、保持面の形成方法を実施する研削装置であって、ウェーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるテーブルスピンドルと、該チャックテーブルに保持されたウェーハをスピンドルに装着した研削砥石で研削する研削ユニットと、該テーブルスピンドルと該第１スピンドルとの相対傾きを第１角度と、該第１角度よりも小さい第２角度にする制御部と、を備える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明によれば、研削砥石の砥粒径が異なる第１研削工程と第２研削工程とにおいて、スピンドルの軸心とチャックテーブルの軸心との相対的な角度を変え、第１研削工程と第２研削工程とでチャックテーブルの研削部分を上述のように変えている。これにより、セルフグラインドにて枠体に比べてポーラス部材の研削が進行することで、ポーラス部材の外周部にリング状の凹みが形成されることを防止することができる。この結果、セルフグラインドを実施してからチャックテーブルでウェーハを保持して研削する際、リング状の凹みに応じた凸形状部分がウェーハに形成されることを回避してウェーハを均一な厚みに研削することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
実施の形態の研削装置の概略斜視図である。
チャックテーブル、テーブル回転機構及び傾き調整機構を示す側面図である。
チャックテーブル、テーブル回転機構及び傾き調整機構を示す概略斜視図である。
チャックテーブルとテーブルスピンドルの一部を示す断面図である。
傾き調整機構の配置例を示す平面断面図である。
準備研削工程の説明図である。
第１研削工程の説明図である。
第２研削工程の説明図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、添付図面を参照して、実施の形態に係る研削装置について説明する。図１は、実施の形態の研削装置の斜視図である。
（【００１１】以降は省略されています）

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