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公開番号2025117850
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-13
出願番号2024012803
出願日2024-01-31
発明の名称X線発生装置
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01J 35/16 20060101AFI20250805BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】X線発生装置の電源部内における放電の発生を効果的に抑制する。
【解決手段】X線発生装置1Aは、筐体2と、電子銃3と、ターゲット4と、電源部6と、を備える。電源部6は、絶縁部61と、絶縁部61に埋設された回路部62と、を有し、絶縁部61は、第1絶縁性材料からなる基材と第1絶縁性材料よりも絶縁性が高い第2絶縁性材料からなり基材に分散された複数の粒子と、を含む。回路部62は、第1電圧部62aと、昇圧部62bと、第2電圧部62cと、を含む。絶縁部61において、第1領域611における複数の粒子の体積濃度は、第2領域612における複数の粒子の体積濃度よりも高く、第2領域612における複数の粒子の体積濃度は、第3領域613における複数の粒子の体積濃度よりも高い。回路部62は、回路部62の少なくとも一部が第2領域612に位置するように、絶縁部61に埋設されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
筐体と、
前記筐体内において電子ビームを出射する電子銃と、
前記筐体内において前記電子ビームが入射することでＸ線を発生させるターゲットと、
前記電子銃又は前記ターゲットに印加するための電圧を生成する電源部と、を備え、
前記電源部は、絶縁部と、前記絶縁部に埋設された回路部と、を有し、
前記絶縁部は、第１絶縁性材料からなる基材と、前記第１絶縁性材料よりも絶縁性が高い第２絶縁性材料からなり且つ前記基材に分散された複数の粒子と、を含み、
前記回路部は、外部から第１電圧が入力される第１電圧部と、前記電圧である第２電圧に前記第１電圧を昇圧する昇圧部と、前記電子銃又は前記ターゲットに前記第２電圧を出力する第２電圧部と、を含み、
前記絶縁部において、第１領域における前記複数の粒子の体積濃度は、第１方向における前記第１領域の一方の側の第２領域における前記複数の粒子の体積濃度よりも高く、前記第２領域における前記複数の粒子の前記体積濃度は、前記第１方向における前記第２領域の前記一方の側の第３領域における前記複数の粒子の体積濃度よりも高く、
前記回路部は、前記回路部の少なくとも一部が前記第２領域に位置するように、前記絶縁部に埋設されている、Ｘ線発生装置。
続きを表示（約 640 文字）【請求項２】
前記第２領域における前記複数の粒子の前記体積濃度は、５％以上且つ７５％以下である、請求項１に記載のＸ線発生装置。
【請求項３】
前記回路部の少なくとも前記一部は、前記第２領域のうち、前記複数の粒子の前記体積濃度が２０％以上且つ６０％以下である領域に位置している、請求項２に記載のＸ線発生装置。
【請求項４】
前記回路部は、前記第２電圧部が前記第２領域に位置するように、前記絶縁部に埋設されている、請求項１～３のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項５】
前記電源部は、前記第２電圧部と前記電子銃又は前記ターゲットとを電気的に接続している給電部を更に有し、
前記電子銃又は前記ターゲットは、前記第１方向に垂直な第２方向から見た場合に前記第２領域と重なっており、
前記回路部は、前記第２方向において前記第２電圧部が前記第１電圧部と前記電子銃又は前記ターゲットとの間に位置するように、前記絶縁部に埋設されている、請求項４に記載のＸ線発生装置。
【請求項６】
前記回路部は、前記回路部の全部が前記第２領域に位置するように、前記絶縁部に埋設されている、請求項１～３のいずれか一項に記載のＸ線発生装置。
【請求項７】
前記回路部は、前記第２電圧部が前記第１電圧部に対して前記第１領域側に位置するように、前記絶縁部に埋設されている、請求項６に記載のＸ線発生装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、Ｘ線発生装置に関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
Ｘ線発生装置として、筐体と、筐体内において電子ビームを出射する電子銃と、筐体内において電子ビームが入射することでＸ線を発生させるターゲットと、電子銃又はターゲットに印加するための電圧を生成する電源部と、を備えるＸ線発生装置であって、電源部が、絶縁部と、絶縁部に埋設された回路部と、を有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００４―２１３９７４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上述したようなＸ線発生装置では、絶縁部に回路部が埋設されていることで、電源部内における放電の発生が抑制されており、その結果、Ｘ線発生装置の信頼性が向上されている。このようなＸ線発生装置の信頼性を更に向上する上では、電源部内における放電の発生を効果的に抑制することが望まれる。
【０００５】
本発明は、電源部内における放電の発生を効果的に抑制することができるＸ線発生装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のＸ線発生装置は、［１］「筐体と、前記筐体内において電子ビームを出射する電子銃と、前記筐体内において前記電子ビームが入射することでＸ線を発生させるターゲットと、前記電子銃又は前記ターゲットに印加するための電圧を生成する電源部と、を備え、前記電源部は、絶縁部と、前記絶縁部に埋設された回路部と、を有し、前記絶縁部は、第１絶縁性材料からなる基材と、前記第１絶縁性材料よりも絶縁性が高い第２絶縁性材料からなり且つ前記基材に分散された複数の粒子と、を含み、前記回路部は、外部から第１電圧が入力される第１電圧部と、前記電圧である第２電圧に前記第１電圧を昇圧する昇圧部と、前記電子銃又は前記ターゲットに前記第２電圧を出力する第２電圧部と、を含み、前記絶縁部において、第１領域における前記複数の粒子の体積濃度は、第１方向における前記第１領域の一方の側の第２領域における前記複数の粒子の体積濃度よりも高く、前記第２領域における前記複数の粒子の前記体積濃度は、前記第１方向における前記第２領域の前記一方の側の第３領域における前記複数の粒子の体積濃度よりも高く、前記回路部は、前記回路部の少なくとも一部が前記第２領域に位置するように、前記絶縁部に埋設されている、Ｘ線発生装置」である。
【０００７】
上記［１］に記載のＸ線発生装置では、絶縁部が、第１絶縁性材料からなる基材と、第１絶縁性材料よりも絶縁性が高い第２絶縁性材料からなり且つ基材に分散された複数の粒子と、を含んでいる。ここで、絶縁部においては、複数の粒子の体積濃度が高くなるにつれて絶縁性能も高くなるが、複数の粒子の体積濃度が高くなりすぎると、互いに接する複数の粒子の表面を放電経路とする放電が発生しやすくなる。上記［１］に記載のＸ線発生装置では、絶縁部において、第１領域における複数の粒子の体積濃度が、第１方向における第１領域の一方の側の第２領域における複数の粒子の体積濃度よりも高く、第２領域における複数の粒子の体積濃度が、第１方向における第２領域の一方の側の第３領域における複数の粒子の体積濃度よりも高い。これにより、第２領域において、複数の粒子の体積濃度が高くなりすぎることに起因する放電の発生を抑制しつつ、絶縁部における高い絶縁性能を確保することができる。そして、上記［１］に記載のＸ線発生装置では、回路部の少なくとも一部が第２領域に位置するように、回路部が絶縁部に埋設されている。これにより、回路部の少なくとも一部を、絶縁部における高い絶縁性能を有する領域に位置させることができる。よって、上記［１］に記載のＸ線発生装置によれば、電源部内における放電の発生を効果的に抑制することができる。
【０００８】
本発明のＸ線発生装置は、［２］「前記第２領域における前記複数の粒子の前記体積濃度は、５％以上且つ７５％以下である、上記［１］に記載のＸ線発生装置」であってもよい。当該［２］に記載のＸ線発生装置によれば、第２領域において、複数の粒子の体積濃度が高くなりすぎることに起因する放電の発生を確実に抑制しつつ、絶縁部における高い絶縁性能を確実に確保することができる。したがって、回路部の少なくとも一部を、絶縁部における高い絶縁性能を有する領域に確実に位置させることができる。よって、上記［２］に記載のＸ線発生装置によれば、電源部内における放電の発生をより効果的に抑制することができる。
【０００９】
本発明のＸ線発生装置は、［３］「前記回路部の少なくとも前記一部は、前記第２領域のうち、前記複数の粒子の前記体積濃度が２０％以上且つ６０％以下である領域に位置している、上記［２］に記載のＸ線発生装置」であってもよい。当該［３］に記載のＸ線発生装置によれば、回路部の少なくとも一部を、絶縁部における高い絶縁性能を有する領域により確実に位置させることができる。よって、当該［３］に記載のＸ線発生装置によれば、電源部内における放電の発生をより一層効果的に抑制することができる。
【００１０】
本発明のＸ線発生装置は、［４］「前記回路部は、前記第２電圧部が前記第２領域に位置するように、前記絶縁部に埋設されている、上記［１］～［３］のいずれか一つに記載のＸ線発生装置」であってもよい。当該［４］に記載のＸ線発生装置によれば、回路部において放電を発生させやすい第２電圧部が第２領域に位置するため、電源部内における放電の発生をより効率的に抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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