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公開番号2025115671
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-07
出願番号2024010240
出願日2024-01-26
発明の名称ステージ装置、露光装置、及び物品の製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/68 20060101AFI20250731BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】物体の位置を簡素に計測することができるステージ装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るステージ装置は、第1の物体が載置される物体載置面を有するステージと、物体載置面に平行な第1の平面内においてステージを移動させる駆動部と、第1の物体に形成されている第1の平面内の第1の方向に延在する第1の側面に第1の計測光を投光する第1の投光部、及び第1の側面によって反射された第1の計測光を受光する第1の受光素子を有し、第1の受光素子における受光結果から第1の平面内の第2の方向における第1の側面の第1の位置、及び第1の平面内における第1の側面の第1の角度を計測する第1の計測部と、第1の計測部によって計測された第1の位置及び第1の角度に基づいて駆動部を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１の物体が載置される物体載置面を有するステージと、
前記物体載置面に平行な第１の平面内において前記ステージを移動させる駆動部と、
前記第１の物体に形成されている前記第１の平面内の第１の方向に延在する第１の側面に第１の計測光を投光する第１の投光部、及び該第１の側面によって反射された該第１の計測光を受光する第１の受光素子を有し、該第１の受光素子における受光結果から前記第１の平面内の第２の方向における前記第１の側面の第１の位置、及び前記第１の平面内における前記第１の側面の第１の角度を計測する第１の計測部と、
該第１の計測部によって計測された前記第１の位置及び前記第１の角度に基づいて前記駆動部を制御する制御部と、
を備えることを特徴とするステージ装置。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記第１の受光素子は、エリアセンサであることを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項３】
前記第１の物体は、前記第１の平面内において前記第１の方向に垂直な第３の方向に延在する第２の側面が形成されている矩形形状を有しており、
前記制御部は、
前記第１の平面内の前記第２の方向に垂直な第４の方向における前記第２の側面の第２の位置を取得し、
前記第１の計測部によって計測された前記第１の位置及び前記第１の角度と、該取得された第２の位置とから前記駆動部を制御することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項４】
前記第１の物体の前記第２の側面に第２の計測光を投光する第２の投光部と、該第２の側面によって反射された該第２の計測光を受光する第２の受光素子とを含み、該第２の受光素子における受光結果から前記第２の位置を計測する第２の計測部を備え、
前記制御部は、該第２の計測部によって計測された前記第２の位置を取得することを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項５】
前記第２の受光素子は、ラインセンサであることを特徴とする請求項４に記載のステージ装置。
【請求項６】
前記第１の計測部は、前記第１の側面の前記第４の方向における端部の第３の位置を計測し、
前記制御部は、前記第２の位置として前記第１の計測部によって計測された前記第３の位置を取得することを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項７】
前記第１の物体は、前記第２の方向の所定の側において前記第１の側面が前記物体載置面の第１の端部から所定の距離だけ突出すると共に、前記第４の方向の所定の側において前記第２の側面が前記物体載置面の第２の端部から所定の距離だけ突出するように前記物体載置面上に載置されていることを特徴とする請求項３に記載のステージ装置。
【請求項８】
前記第１の計測部は、前記第１の受光素子の受光面における前記第１の計測光の強度分布から前記第１の位置及び前記第１の角度を決定することを特徴とする請求項１に記載のステージ装置。
【請求項９】
前記第１の受光素子は、前記受光面において前記第２の方向に沿って配列されている複数の画素をそれぞれが有する複数の画素群が前記第１の平面内において前記第２の方向に垂直な第４の方向に沿って配列されるように配置されていることを特徴とする請求項８に記載のステージ装置。
【請求項１０】
前記第１の計測部は、
各画素群において輝度が最大となる輝度最大画素を決定し、
該決定された複数の輝度最大画素から形成される線分の中点の前記第２の方向における位置を前記第１の位置として決定することを特徴とする請求項９に記載のステージ装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ステージ装置、露光装置、及び物品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,900 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、露光装置では、基板に形成されている側面の位置を計測し、当該計測された側面の位置に基づいて当該基板が載置される基板ステージの駆動をステージ装置によって制御させることで、当該基板の位置決めを行うプリアライメントが行われる。
特許文献１は、基板の側面上の所定の点に計測光を投光し、当該所定の点において反射された当該計測光を受光面において受光させることで取得された当該受光面における当該計測光の強度分布から当該基板の位置を決定するステージ装置を開示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１１６８６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１に開示されているステージ装置では、矩形の基板面を有する基板の当該基板面に平行な平面内における位置を決定するために、当該基板の第１の側面上の二点と当該第１の側面に垂直な第２の側面上の一点とを含む少なくとも三点の位置を決定している。
すなわち当該ステージ装置では、基板の側面上の所定の点の位置を計測する計測部が少なくとも三つ設けられているため、構造が複雑化している。
【０００５】
そこで本発明は、物体の位置を簡素に計測することができるステージ装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係るステージ装置は、第１の物体が載置される物体載置面を有するステージと、物体載置面に平行な第１の平面内においてステージを移動させる駆動部と、第１の物体に形成されている第１の平面内の第１の方向に延在する第１の側面に第１の計測光を投光する第１の投光部、及び第１の側面によって反射された第１の計測光を受光する第１の受光素子を有し、第１の受光素子における受光結果から第１の平面内の第２の方向における第１の側面の第１の位置、及び第１の平面内における第１の側面の第１の角度を計測する第１の計測部と、第１の計測部によって計測された第１の位置及び第１の角度に基づいて駆動部を制御する制御部とを備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、物体の位置を簡素に計測することができるステージ装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第一実施形態に係るステージ装置の模式的上面図。
第一実施形態に係るステージ装置の一部拡大模式的側面図。
第一実施形態に係るステージ装置での受光部において取得される反射光の強度分布の例を示した図。
第一実施形態に係るステージ装置での受光部において取得される反射光の強度分布の例を示した図。
第一実施形態に係るステージ装置での受光部において検出されるピークの位置の例を示した図。
第一実施形態に係るステージ装置での受光部において検出されるピークの位置の例を示した図。
第二実施形態に係るステージ装置の模式的上面図。
第二実施形態に係るステージ装置での受光部において取得される反射光の強度分布の例を示した図。
第二実施形態に係るステージ装置での受光部において検出されるピークの位置の例を示した図。
第二実施形態の変形例に係るステージ装置の模式的上面図。
第一又は第二実施形態に係るステージ装置を備える露光装置の模式的断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本実施形態に係るステージ装置を添付の図面に基づいて詳細に説明する。なお以下に示す図面は、本実施形態を容易に理解できるようにするために実際とは異なる縮尺で描かれている場合がある。
また以下では、基板ステージ６上において基板２が載置される基板載置面に垂直な方向をＺ方向、当該Ｚ方向に垂直な平面において互いに垂直な二方向をＸ方向（第４の方向）及びＹ方向（第２の方向）、Ｚ方向まわりの回転方向をθ方向と定義する。
【００１０】
［第一実施形態］
従来、半導体素子、液晶表示素子、撮像素子及び薄膜磁気ヘッド等のデバイスの製造工程に含まれるフォトリソグラフィ工程においては、露光装置が用いられている。
具体的に露光装置では、マスクに形成されているパターンの像がフォトレジスト等の感光剤が塗布されたウエハやガラスプレート等の基板上に投影露光される。
（【００１１】以降は省略されています）

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